[发明专利]一种具有快进慢进复合动作的扩散炉炉门机构

说明书

技术领域

本结构涉及一种扩散炉炉门机构，尤其涉及一种快进慢进复合运动的扩散炉炉门机构，用于硅片加工的扩散炉上，能灵活开闭。

背景技术

扩散炉作为半导体制备过程中重要的设备之一，广泛用于集成电路、电力电子、太阳能电池等生产行业；同时扩散炉也是民用、军事材料生产的必不可少的重要设备之一。

扩散炉的炉口处于敞开状态，将导致炉内热量向外扩散，增加扩散炉的热量损失，同时增加了扩散炉的加热功率，而且扩散热量会对室内环境产生热辐射。

由于扩散炉在工作过程中，石英管中必须保证不能有金属离子等能干涉扩散效果的材料，所以我们采用的炉门材质为玻璃，但是玻璃材质的炉门与石英管如果快速碰撞的话会容易发生碎裂，所以炉门与石英管应该缓慢接触。本扩散炉炉门结构中采用自行设计的有快进慢进复合动作的气缸，该气缸驱动炉门快速靠近石英管，当要接近石英管的时候再缓慢的靠近，这样不仅提高了关闭、打开炉门的效率，而且避免了炉门与石英管碰撞而产生的易碎现象。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有快进慢进复合动作的扩散炉炉门机构，该炉门为玻璃材质。该机构可以实现炉门快速靠近石英管，当接近石英管的时候炉门再缓慢靠近，起到关闭炉门的效果；同样也能使炉门先缓慢离开石英管，再快速移动炉门，起到了打开炉门的效果。其机构结构简单，易于操作。

为达到上述目的，本发明采用下述技术方案：

一种具有快进慢进复合运动的扩散炉炉门机构，包括固定板和炉门，其特征在于：所述炉门通过两根平行的摇摆连杆与一个移动底座摆动铰链，该移动底座上装有一个气缸经传动机构活动连接摇摆连杆，实现炉门的快速摆动至炉门口前；所述移动底座滑动安置在所述固定板上，该固定板上固定安装一个快进复合动作气缸，该快慢复合动作气缸有两个平行的活塞杆与移动底座固定连接，实现炉门的先快后慢闭合和先慢后快开启。

所述两根摇摆连杆的一端别各通一个轴承和一根短轴与炉门转动连接，另一端与移动底座铰链；所述气缸与摇摆连杆之间的传动机构是：气缸的活塞杆通过一个联轴器与一根轴联接，该轴与一个叉形连接块固定连接，两根摇摆连杆中的一根摇摆连杆上有一个长条形穿槽，该穿槽内滑配插一根销，该销的两端与所述叉形连接块的两叉头端固定连接。

所述快慢复合动作气缸的结构是：一个气缸体内平行设置两个气缸，每个气缸内一个带大活塞P和一个小活塞Q的一根活塞杆固定连接，活塞杆伸出气缸体后与移动底座固定连接；大活塞P与气缸内壁滑配，小活塞Q与气缸内的一个内衬套内壁滑配；所述气缸的后端有进气口B，后端有出气口A贯穿汽缸壁和内衬套壁，小活塞Q上有节流孔。