[发明专利]温度可控低温冷却装置

权利要求书

1.一种温度可控低温冷却装置，其特征在于：包括用于夹持被加工材料的夹具、与所述夹具连接的传热构件以及与所述传热构件连接的液氮容器；所述液氮容器中的液氮汽化吸热冷却所述传热构件，所述传热构件通过热传导冷却所述夹具夹持的被加工材料。

2.根据权利要求1所述的温度可控低温冷却装置，其特征在于：所述液氮容器沿所述传热构件的长度方向可运动，以调节所述传热构件与所述液氮的接触面积。

3.根据权利要求1所述的温度可控低温冷却装置，其特征在于：所述传热构件包括与所述夹具连接的导热线以及套在所述导热线外用于保持所述导热线温度的保温管。

4.根据权利要求3所述的温度可控低温冷却装置，其特征在于：所述导热线为铜辫，所述保温管为杜瓦管。

5.根据权利要求2所述的温度可控低温冷却装置，其特征在于：所述温度可控低温冷却装置还包括与所述夹具连接的加热单元，用于加热所述被加工材料，与所述传热构件配合稳定控制所述被加工材料的温度。

6.根据权利要求5所述的温度可控低温冷却装置，其特征在于：所述温度可控低温冷却装置还包括分别与所述液氮容器、加热单元以及被加工材料连接的控制模块，所述控制模块用于控制所述液氮容器相对于传热构件的位移以及加热单元的制热功率。

7.根据权利要求6所述的温度可控低温冷却装置，其特征在于：所述控制模块包括控制单元以及与其连接的采集单元，所述采集单元实时监测所述被加工材料的温度并将监测结果发送给所述控制单元，所述控制单元根据所述监测结果控制所述液氮容器相对于传热构件的位移以及加热单元的制热功率。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的温度可控低温冷却装置，其特征在于：所述温度可控低温冷却装置还包括设置于所述夹具外用于控制加工环境中水蒸气含量的挡板。