[发明专利]一种激光有源微调承片台无效
申请号: | 201210377134.6 | 申请日: | 2012-10-08 |
公开(公告)号: | CN102915819A | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 姚道俊;邹建安;张静 | 申请(专利权)人: | 华东光电集成器件研究所 |
主分类号: | H01C17/242 | 分类号: | H01C17/242;H01L21/67 |
代理公司: | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人: | 杨晋弘 |
地址: | 233042 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 有源 微调 承片台 | ||
【权利要求书】:
1.一种激光有源微调承片台,其特征在于它包括一个底座(5),底座(5)上连接一个支撑筒(4),支撑筒上设有螺孔,其中设有相配合的紧定螺钉(6),设置一个面板(1),面板(1)下面连接有支柱(3),支柱(3)与支撑筒(4)的内孔间隙配合。
2.根据权利要求1所述的一种激光有源微调承片台,其特征在于面板(1)上四角部位分部设有安装孔(2)。
3.根据权利要求1所述的一种激光有源微调承片台,其特征在于底座(5)上设有地线螺钉E。
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