[发明专利]一种高精度BGA植球装置有效

专利信息
申请号: 201210377135.0 申请日: 2012-10-08
公开(公告)号: CN102915934A 公开(公告)日: 2013-02-06
发明(设计)人: 王涛;向圆;张乐银;徐春叶;明源;李丙旺 申请(专利权)人: 华东光电集成器件研究所
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 代理人: 杨晋弘
地址: 233042 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 高精度 bga 装置
【权利要求书】:

1.一种高精度BGA植球装置,其特征在于包括:

a、保护盒(1),保护盒(1)的上端为开口端、后面铰接活动门(1b);

b、保护盒(1)内设有三维机械调节装置,三维机械调节装置中的各调节螺杆分别穿过保护盒(1)正面和侧面,三维调节装置顶部连接有吸盘(6),吸盘(6)通过软管(12)与负压源连接;

c、模板框(8),模板框中设有网版(13),模板框(8)通过螺钉(7)与保护盒(1)的上端对应连接。

2.根据权利要求1所述的一种高精度BGA植球装置,其特征在于:

模板框(8)中设有漏球孔(14),漏球孔(14)与设置在模板框(8)下面的收集槽(9)连接配合。

3.根据权利要求1所述的一种高精度BGA植球装置,其特征在于所述的三维机械调节装置包括:

底座(15)及其上设置的纵向移动版(16),纵向移动版(16)与底座(15)之间设有纵向螺杆(2)及配合的纵向螺母(2a);

纵向移动版(16)上设置横向移动版(17),纵向移动版(16)与横向移动版(17)之间设有横向螺杆(3)及其配合的螺母;

横向移动版(17)上设有套筒(18),套筒(18)中设有移动配合的升降螺杆(11),升降螺杆(11)上连接一个涡轮螺母(4a),涡轮螺母(4a)的外圆涡轮部分与垂直螺杆(4)连接配合;

升降螺杆(11)的上端滑动连接一个角度涡轮(5a),角度调节螺杆(5)与角度涡轮(5a)连接配合,角度涡轮(5a)上端连接吸盘(6)。

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