[发明专利]化学气相沉积设备的红外辐射测温校准装置及其校准方法

权利要求书

1.一种化学气相沉积设备的红外辐射测温校准装置，包括红外辐射温度测试仪（4）、光学检测孔（3）、黑体炉（10）、光纤或光线束（8），检测孔端夹具（7）及黑体炉端夹具（9），其特征在于光学检测孔（3）为可以透光的，光学检测孔（3）设置在喷淋盘（1）中，红外辐射温度测试仪（4）与设置在喷淋盘（1）中的可以透光的光学检测孔（3）对应设置，光纤或光线束（8）通过黑体炉端夹具（9）和检测孔端夹具（7）固定并连接在黑体炉（10）和光学检测孔（3）之间。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备的红外辐射测温校准装置，其特征在于所述红外辐射温度测试仪（4）和光学检测孔（3）对应设置为2个以上。

3.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积设备的红外辐射测温校准装置，其特征在于所述红外辐射温度测试仪（4）中至少有一台具有发射率修正温度或消除发射率影响温度的功能。

4.用权利要求1所述的化学气相沉积设备的红外辐射测温校准装置的校准方法，其特征在于：将黑体炉设置某一特定温度，分别通过光纤或光线束将标准红外辐射信号传输到各个光学检测孔，红外辐射温度测试仪对载片盘或者衬底表面进行温度测量，测得各个检测孔对应的红外辐射温度测试仪之间与所设特定温度辐射信号的温度差异，进而将其中一个检测孔对应的具有消除发射率影响的红外辐射温度测试仪检测的温度作为标准值，其他光学检测孔对应的红外辐射温度测试仪根据各自测得的温度值减去标准值得到温度差值，然后将黑体炉设置的特定温度、标准值和温度差值以最小二乘法进行拟合，得到各个光学检测孔对应的红外辐射温度测试仪测得的温度差值曲线，  再根据该温度差值曲线对光学检测孔对应的红外辐射温度测试仪实测的温度进行校准。