[发明专利]一种提高半导体激光器寿命方法

权利要求书

1.一种提高半导体激光器寿命方法，其特征在于包括：半导体激光器bar条1，经等离子体技术处理的半导体激光器bar条2，钝化膜3，前腔面膜4，后腔面膜5，具体步骤如下：

步骤1：将解理好的半导体激光器bar条整齐的堆叠在专用的bar条夹具上，放入真空镀膜机里，抽取真空。当达到预定真空度时，采用等离子体技术，进行腔面清洗。

步骤2：采用钝化技术，在解理腔面上沉积一层钝化膜3。

步骤3：采用离子辅助技术和光学膜技术，制备高激光损伤阈值前腔面膜4和后腔面膜5。

2.根据权利要求1所述的一种提高半导体激光器寿命方法，其特征在于步骤1中所述的等离子体技术，进行腔面清洗，除去腔面的氧化膜和腔面不稳定表面态。

3.根据权利要求1所述的一种提高半导体激光器寿命方法，其特征在于步骤2中所述的钝化技术，使钝化膜3占据腔面易氧化状态，消除欲氧化状态，抑制腔面再次被氧化，防止形成腔面缺陷。