[发明专利]一种功率电子器件双面粘接结构及制备方法有效
申请号: | 201210381140.9 | 申请日: | 2012-10-09 |
公开(公告)号: | CN102915985A | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 梅云辉;连娇愿;陆国权;陈旭 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 300072 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 功率 电子器件 双面 结构 制备 方法 | ||
1.一种功率电子器件双面粘接结构,其特征是在芯片与一侧基板之间设置有金属管层,金属管的数量大于等于2,金属管间的中心间距P大于金属管直径D,金属管长度L小于等于芯片尺寸;两块基板上涂刷的连接材料尺寸大于等于芯片尺寸。
2.如权利要求1所述的结构,其特征是所述的金属管材料为银或铜。
3.如权利要求1所述的结构,其特征是所述的连接材料为焊膏或焊料。
4.如权利要求2所述的结构,其特征是所述焊膏为纳米银焊膏或导电银胶,焊料为金锡焊料。
5.如权利要求1所述的结构,其特征是所述的结构包括一个上基板,一个下基板,三层连接材料,金属管子以及若干个厚度任意不等的多种芯片组成,芯片厚度相差不超过所选金属管子的管径;上基板通过连接材料与芯片直接相连,芯片另一侧通过连接材料与金属管相连,金属管又通过连接材料与下基板相连。
6.权利要求1的功率电子器件双面粘接结构的制备方法,其特征是先在两块基板及芯片上分别涂刷焊膏或导电胶,经干燥后,再在其中一块基板的连接材料上,粘接芯片未涂连接材料的一侧,在芯片连接材料上排布金属管,最后将附有连接材料的上基板连接到芯片与金属管及下基板部分,完成芯片双面粘接基板结构;进行连接材料的烧结成型,进行压力辅助烧结,将制成的芯片双面冷却结构放入平板热压机内,施加压力使上下基板平行以便于下一步封装,并同时进一步使管子发生变形,管子横截面变为近似椭圆形。
7.权利要求6所述的制备方法,其特征是所述的辅助烧结,烧结时间为5~15分钟,泄压后进一步烧结的烧结温度大于热压温度,烧结时间为5~10分钟。
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