[发明专利]可变节流型静压轴承

说明书

技术领域

本发明涉及具备固定节流部（fixed orifice）和可变节流部（variable orifice）的两级节流的可变节流型静压轴承。

背景技术

公知在静压轴承中若在向兜孔（pocket）的供给路径具备两级的固定节流部和可变节流部，则能够增大向轴承施加大的载荷使兜孔内的压力上升而与供给压力之差变小的情况下的刚性。

在日本特开2002-286037号公报中，公开了一种具备两级节流的可变节流型静压轴承，其用具备固定节流部的可动物体区分向流体供给室和兜孔的流入路，在流体供给室具备以与可动物体对置的方式配置的开口，通过与兜孔流入路的压力对应地变动可动物体与开口的间隔，来从开口流出的流量进行节流。为了减少可动物体与引导孔的接触时的阻力，在可动物体的侧面具备流体供给兜孔。

在日本特开2002-286037号公报所公开的现有技术中，来自设置于可动物体的固定节流部的流路和可动物体与引导孔的间隔的流量的和为固定节流部流量。但是，因为在可动物体的移动时可动物体有倾斜的可能性，所以即使在兜孔流入路的压力恒定的情况下，仍存在根据可动物体的倾斜程度来自间隔的流量变动而固定节流部流量变动，即固定节流部的节流比变动的可能性。

发明内容

本发明提供一种以简易的构成具备固定节流部的节流比不变动的两级节流的可变节流型静压轴承。

根据本发明的实施方式，利用流体供给室、流体贮存室和板簧构成具备固定节流部和可变节流部的流路。

附图说明

从以下的参照附图对具体实施方式进行的说明能够清楚本发明的上述的和进一步的目的、特征和优点，其中，对相同或相似的要素标注相同或相似的标号。

图1是表示本实施方式的滑动工作台装置的整体构成的概略图。

图2是图1的A-A剖视图。

图3是图2的B部的局部放大图。

图4是图3的C-C剖视图。

图5是表示可变节流部的动作的图。

具体实施方式

以下参照附图对本发明的实施例进行说明。

如图1所示，工作台进给装置1将工作台2（轴承主体）可滑动地搭载于基座10（固定部件）的滑动部，通过在工作台2的两端的下部安装一对背板5（轴承主体）成为仅在X轴方向能够移动的构造。

如图2所示，工作台2在与基座10对置的面朝下具备两处兜孔2a、一对横向对置的兜孔2c。兜孔2a、2c与固定节流部和可变节流部以串联的方式连结的两级节流部3连通，两级节流部3分别与供油管路4连通。在兜孔2a的外周具备排放槽2b。

背板5具备朝上的兜孔5a，兜孔5a与两级节流部3连通，两级节流部3分别与供油管路4连通。在兜孔5a的外周具备排放槽5b。

图3详细地表示两级节流部3。两级节流部3是由通过螺栓35将具备流体贮存室31a的可变节流部基座31和具备流体供给室32a的盖32以流体贮存室31a与流体供给室32a对置的方式在对接面3a紧固，在组合部具备O形环34的构成组成。可变节流部基座31在流体贮存室31a的中央部具备突起部31b和排出口31c，流体贮存室31a的外周31d为圆形，在其外周具备与突起部31b的上表面平行的板簧固定部31e。板簧33插入板簧固定部31e的上表面而固定于该可变节流部基座31与盖32之间。

板簧固定部31e的上表面和突起部31b的上表面设定为具有规定的阶梯差t1。在板簧33没有挠曲的情况下突起部31b的上表面以间隔t1与板簧33正对。板簧33具备连通流体供给室32a与流体贮存室31a的固定节流部33a。如图4所示，固定节流部33a配置于相对于外周31d的中心呈旋转对称的4处位置。流体供给室32a经由流路32b与管路4连通，排出口31c经由工作台2的流入路2d与兜孔2a连通。

使用图3以及图5对可变节流型静压轴承的工作进行说明。若向管路4供给流体则流体充满流体供给室32a，流体经由固定节流部33a充满流体贮存室31a，进而，流体贮存室31a内的流体经由板簧33与突起部31b之间的间隔和排出口31c以流量Q流入兜孔2a。流量Q的流体从兜孔2a内经由兜孔2a与基座10的间隔t3向排放槽2b流出。

以上的情况也同样在设置于工作台2的垂直方向的兜孔2c和背板5的兜孔5a部发生。作为其结果，基座10和工作台2在兜孔2a部以具备间隔t3的状态被保持。