[发明专利]一种多层石墨烯的减薄方法

权利要求书

1.一种多层石墨烯的减薄方法，其特征在于，所述方法包括：

将多层石墨烯样品放入等离子体浸没离子注入设备的腔室内；

调整所述等离子体浸没离子注入设备的工艺参数达到预设定的工作范围，向所述等离子体浸没离子注入设备通入惰性气体；

利用等离子体浸没离子注入技术，对所述多层石墨烯样品逐层溅射减薄；

在保护气的作用下，将减薄后的石墨烯样品放入高温退火炉中退火，并冷却至室温。

2.如权利要求1所述的多层石墨烯的减薄方法，其特征在于，所述工艺参数包括腔室的等离子体电源的射频功率和脉冲偏置电压、惰性气体的流量和压强、以及等离子体注入时间。

3.如权利要求2所述的多层石墨烯的减薄方法，其特征在于，所述等离子体电源的射频功率为5～400W、脉冲偏置电压为0～1000V，惰性气体的流量为10～300sccm、压强为0.5～10Pa，等离子体注入时间为0.5～30分钟。

4.如权利要求1所述的多层石墨烯的减薄方法，其特征在于，所述惰性气体包括氦气、氖气和氩气中的一种或多种。

5.如权利要求1所述的多层石墨烯的减薄方法，其特征在于，所述保护气为氮气，所述氮气的流量为5～10L/min；所述退火的温度为400～1000℃、退火时间为10～30分钟。