[发明专利]一种将气体微流量校准下限延伸至10-14Pam3/s的系统及方法

权利要求书

1.一种将气体微流量校准下限延伸至10^-14Pam³/s的系统，其特征在于，该系统包括：第一机械泵(1)、第二机械泵(14)、第一电磁阀(2)、第二电磁阀(13)、第一真空阀门(4)、第二真空阀门(7)、第三真空阀门(11)、第四真空阀门(17)、第五真空阀门(21)、第六真空阀门(24)、第一分子泵(3)、第二分子泵(12)、质谱分析室(5)、小孔(6)、第一消气剂泵(8)、第二消气剂泵(23)、稳压室(10)、第一真空规(9)、第二真空规(15)、第三真空规(22)、储气瓶(19)、微调阀(20)、四极质谱计(16)和真空漏空(18)；

在该系统中，第一机械泵(1)与第一电磁阀(2)连接，第一分子泵(3)一端与第一电磁阀(2)连接，另一端与第一真空阀门(4)连接；质谱分析室(5)上安装有第二真空规(15)、四极质谱计(16)，第二消气剂泵(23)通过第六真空阀门(24)与质谱分析室(5)连接，质谱分析室(5)的下端抽气口与第一真空阀门(4)连接，质谱分析室(5)的上端分别与小孔(6)、第四真空阀门(17)连接；第四真空阀门(17)的另一端与真空漏孔(18)连接；第二真空阀门(7)的一端与小孔(6)连接，另一端与微调阀(20)、稳压室(10)及第三真空规(22)连接，储气瓶(19)与微调阀(20)连接；稳压室(10)上有六个接口，分别与第一真空规(9)、微调阀(20)、第五真空阀门(21)、第三真空规(22)、第三真空阀门(11)及第二真空阀门(7)连接，第一消气剂泵(8)与第五真空阀门(21)连接；第二分子泵(12)两端分别与第三真空阀门(11)、第二电磁阀(13)连接，第二电磁阀(13)的另一端与第二接机械泵(14)连接。

2.如权利要求1所述的一种将气体微流量校准下限延伸至10^-14Pam³/s的系统，其特征在于，校准范围为10^-11～10^-14Pam³/s，第一真空规(9)采用磁悬浮转子规(SRG)，小孔(6)的直径约2u，并且测量前SRG稳定3小时以上；所述第一消气剂泵(8)、第二消气剂泵(23)对惰性气体无抽速；储气瓶(19)中的气源是惰性气体；四极质谱计(16)测量前工作3小时以上。