[发明专利]一种密闭腔体中的样品台

权利要求书

1.一种样品台，置于密闭腔体中，其特征在于，包括：

运动模块，所述运动模块包括相对设置的第一表面和第二表面，以及相对设置的第三表面和第四表面，第一表面和第二表面上沿第一方向对应设置有第一导轨，第三表面和第四表面上沿第二方向对应设置有第二导轨，第一导轨与第二导轨之间有间隔；

第一导向模块，具有沿第一方向设置的第三导轨，并与沿第二方向设置的第一传动杆的一端连接，所述第三导轨与第一导轨相配合；

第二导向模块，具有沿第二方向设置的第四导轨，并与沿第一方向设置的第二传动杆的一端连接，所述第四导轨与第二导轨相配合；

样品头，所述样品头的一端置于运动模块内，沿第三方向与运动模块相配合；

十字连接模块，具有第一随动模块、与第一随动模块相配合的沿第一方向设置的第一随动导轨以及第二随动模块、与第二随动模块相配合的沿第二方向设置的第二随动导轨，第一随动导轨与第二随动导轨固定连接，所述样品头的另一端与第一随动模块、第二随动模块二者中的一个沿第三方向固定连接，第一随动模块、第二随动模块二者中的另一个与沿第三方向设置的第三传动杆的一端固定连接；

其中，第一方向、第二方向与第三方向相互正交，所述导轨为交叉滚柱导轨，所述第一传动杆、第二传动杆以及第三传动杆的另一端置于密闭腔体外，并分别连接位于密闭腔体外的驱动机构。

2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，还包括：限位模块，所述限位模块具有限定第一导向模块沿第二方向的运动轨迹的第一端，以及具有限定第二导向模块沿第一方向的运动轨迹的第二端。

3.根据权利要求2所述的样品台，其特征在于，所述第一端上具有沿第二方向设置的第五导轨以及沿第一方向设置的第六导轨，所述第一导向模块具有沿第二方向设置的第七导轨，所述第二导向模块具有沿第一方向设置的第八导轨，所述第五导轨与第七导轨相配合，所述第六导轨与第八导轨相配合，所述导轨为交叉滚柱导轨。

4.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述第一传动杆以及第二传动杆与驱动机构通过波纹管连接。

5.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于，所述驱动机构为驱动电机，所述驱动电机通过滚柱丝杠与波纹管连接。

6.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于，所述波纹管为小波纹管。

7.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品头沿第三方向与运动模块轴承配合。