[发明专利]一种配装波纹管垂向解耦重力补偿器的微动台

权利要求书

1.一种配装波纹管垂向触耦垂力补偿器的微动台，该微动台包括由三个重力补偿器(2A、2B、2C)支撑的微动台负载平台(1)，所述重力补偿器(2A、2B、2C)包括垂向音圈电机动子磁钢(6)、垂向音圈电机定子线圈(7)、基座(8)、活塞(9)、密封O型圈(14)，其中活塞(9)与基座(8)内部圆柱腔同心配合，且在活塞(9)底端面与基座(8)内部圆柱腔之间构成底部气腔；在基座(8)的底侧部上设置进气口(12)，所述进气口(12)与基座(8)底部气腔连通，活塞(9)外表面与基座(8)内部圆柱腔内壁面之间构成径向气浮轴承，基座(8)的底部气腔支撑活塞(9)，并使其可以Z向自由运动，在基座(8)上设置出气口(11)；垂向音圈电机定子线圈(7)同定在定子(8)上，垂向音圈电机动子磁钢(6)与垂向音圈电机定子线圈(7)同心扣装配合，且在水平方向之间设有间隙，垂向音圈电机动子磁钢(6)同时存在水平和垂向自由度；其特征在于所述重力补偿器(2A、2B、2C)的活塞(9)顶部上配置有波纹管(4)，波纹管(4)顶部与微动台负载平台(1)粘接，波纹管(4)底部与活塞(9)形成推力气浮轴承；在垂向音圈电机动子磁钢(6)与微动台负载平台(1)之间配置有支撑簧片(5)，支撑簧片(5)下端固接在垂向音圈电机动子磁钢(6)顶部，支撑簧片(5)上端与微动台负载平台(1)粘接，支撑簧片(5)由三个相同的片簧构成，三个片簧相对于垂向音圈电机动子磁钢(6)轴心呈对称分布；在基座(8)与垂向音圈电机定子线圈(7)之间设置有水冷环形腔，在基座(8)与垂向音圈电机定子线圈(7)上、下部接触处设置布密封O型圈(14)，在基座(8)上开有与水冷环形腔相通的进水口(13)和出水口(10)；所述重力补偿器(2A、2B、2C)分别与均温装置(3)连通，所述的均温装置(3)包括均温装置水室(15)、均温装置气室(16)、螺旋管路(17)以及均温装置进气口(18)、均温装置出气口(19)、均温装置进水口(20)和均温装置出水口(21)，其中均温装置气室(16)设置在均温装置水室(15)内部，螺旋管路(17)配置在均温装置水室(15)室内，螺旋管路(17)的两端分别与均温装置气室(16)和均温装置出气口(19)连通，在均温装置水室(15)上配装均温装置进水口(20)和均温装置出水口(21)，均温装置出水口(21)与重力补偿器(2A、2B、2C)上的进水口(13)连通，且与重力补偿器(2A、2B、2C)的水冷环形腔连通；均温装置气室(16)与均温装置进气口(18)连通，均温装置出气口(19)与基座(8)上的进气口(12)连通。