[发明专利]开槽分支型的太赫兹波偏振分束器

权利要求书

1.一种开槽分支型的太赫兹波偏振分束器，其特征在于包括信号输入端（1）、第一信号输出端（2）、第二信号输出端（3）、基体（4）、逆z形开槽硅波导（5）、z形分支硅波导（6）；基体（4）上设有不相邻的逆z形开槽硅波导（5）和z形分支硅波导（6），基体（4）中心左侧与逆z形开槽硅波导（5）的左侧相连，逆z形开槽硅波导（5）由顺次相连的矩形开槽硅波导（7）、第一直拐角连接硅波导（8）和第一输出硅波导（9）组成，矩形开槽硅波导（7）上设有第一矩形耦合缝隙（10），第一输出硅波导（9）的右侧与基体（4）右侧相连，z形分支硅波导（6）由顺次连接的八边形开槽波导（11）、矩形硅波导（12）、第二直拐角连接硅波导（13）和第二输出硅波导（14）组成，八边形开槽波导（11）以10μm~50μm的距离与矩形开槽硅波导（7）平行排列，八边形开槽波导（11）上设有第二矩形耦合缝隙（15），第二输出硅波导（14）的右侧与基体（4）右侧相连，信号从信号输入端（1）垂直入射，经过逆z形开槽硅波导（5）和z形分支硅波导（6），从第一信号输出端（2）、第二信号输出端（3）输出。

2.根据权利要求1所述的一种开槽分支型的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的基体（4）的材料为二氧化硅，长为2400μm~3000μm，宽为1200μm~2000μm，厚为300μm~500μm。

3.根据权利要求1所述的一种开槽分支型的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的逆z形开槽硅波导（5）、z形分支硅波导（6）的厚度为200μm~400μm。

4.根据权利要求1所述的一种开槽分支型的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的矩形开槽硅波导（7）的长为1200μm~1500μm，宽为300μm~500μm。

5.根据权利要求1所述的一种开槽分支型的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第一直拐角连接硅波导（8）和第二直拐角连接硅波导（13）均为两直拐角圆弧形，圆弧半径为300μm~500μm。

6.根据权利要求1所述的一种开槽分支型的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第一输出硅波导（9）和第二输出硅波导（14）的长分别为600μm~750μm、450μm~550μm，宽均为300μm~500μm。

7.根据权利要求1所述的一种开槽分支型的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的第一矩形耦合缝隙（10）和第二矩形耦合缝隙（15）的长分别为400μm~500μm、200μm~300μm，宽均为30μm~50μm。

8.根据权利要求1所述的一种开槽分支型的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的八边形开槽波导（11）的长为300μm~400μm，宽为350μm~500μm。

9.根据权利要求1所述的一种开槽分支型的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的矩形硅波导（12）的长为400μm~500μm，宽为300μm~500μm。