[发明专利]纳米级软性模具制作方法与装置

权利要求书

1.一种纳米级软性模具的制作方法，其特征在于，它包括：

（1）提供表面具有纳米级凹和/或凸图案的母模；

（2）在所述母模表面施加光敏固化材料，再在所述母模上覆盖基材，而后使光敏固化材料填入所述图案内，并使所述基材与母模表面紧贴；

（3）以具有设定波长的光线照射光敏固化材料使之固化成型；

（4）将固化成型的光敏固化材料及基材与母模分离，获得目标产品。

2.根据权利要求1所述的纳米级软性模具的制作方法，其特征在于，步骤（2）包括：将光敏固化材料滴加于母模表面，并将基材覆盖在母模表面，而后通过一组以上滚轮滚压覆设在母模表面的基材，从而以推扫方式将光敏固化材料挤压摊平并填入所述图案中，并使基材与母模表面贴紧。

3.根据权利要求1-2中任一项所述的纳米级软性模具的制作方法，其特征在于，所述图案中各凹下单元和/或凸起单元的尺寸介于100-1000纳米，其深宽比<2。

4.根据权利要求1-2中任一项所述的纳米级软性模具的制作方法，其特征在于，所述基材厚度介于100-200微米之间，且其表面预设有用于增加光敏固化材料与基材接着能力的结构。

5.根据权利要求1-2中任一项所述的纳米级软性模具的制作方法，其特征在于，所述光敏固化材料光包括固化能量<500毫焦的紫外光敏固化材料。

6.一种纳米级软性模具的制作装置，其特征在于，它包括：

供料装置，用于提供光敏固化材料，并将光敏固化材料施加至表面具有设定凹和/或凸图案的母模上；

滚压机构，用于将施加在母模上的光敏固化材料挤压摊平并填入所述图案中，以及将基材与母模紧密贴平，

脱模机构，用于将固化成型的光敏固化材料及基材与母模分离，以及，

光源，用于提供设定波长的光线照射光敏固化材料使之固化成型。

7.根据权利要求6所述的纳米级软性模具的制作装置，其特征在于，所述滚压机构包含按所述纳米级软性模具的制程依次设置的复数组软质气压式压轮，该复数组压轮的表面硬度由软到硬依序排列。

8.根据权利要求7所述的纳米级软性模具的制作装置，其特征在于，所述滚压机构包含：

第一组压轮，用于将施加在母模表面的光敏固化材料摊平，

第二组压轮，用于将光敏固化材料填入所述图案中，

第三组压轮，用于调整光敏固化材料的厚度，以及消除光敏固化材料中可能出现的气泡，

其中，第一组压轮至第三组压轮的压力在4-9公斤的范围内依序递增。

9.根据权利要求8所述的纳米级软性模具的制作装置，其特征在于，所述第一组压轮至第三组压轮的表面硬度在40-80萧氏硬度A的范围内依序递增。

10.根据权利要求6所述的纳米级软性模具的制作装置，其特征在于，所述脱模机构包括辅助脱模滚轮，所述辅助脱模滚轮为金属材质，且直径在15cm以上。

11.根据权利要求6所述的纳米级软性模具的制作装置，其特征在于，所述光源包括UV光源模块，所述UV光源模块包含：

LED型UV光源，用于照射填充于所述图案中的光敏固化材料，并至少使所述光敏固化材料表层固化；

以及，面型汞灯UV光源，用于照射从母模中分离出的、连接在基材上的光敏固化材料，并使之完全硬化。