[发明专利]分度误差估计装置、分度误差校准装置和分度误差估计方法有效
| 申请号： | 201210387462.4 | 申请日： | 2012-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN102954815A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 奈良正之 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01D18/00 | 分类号： | G01D18/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 郭定辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分度 误差 估计 装置 校准 方法 | ||
1.一种用于分度误差校准装置的分度误差估计装置，所述分度误差校准装置具有由旋转轴支撑的光栅盘和布置在光栅盘上的至少四个检测器，所述估计装置包括：
检测值合成器，被配置以通过将从所述至少四个检测器的每个获得的每个检测值乘以预定系数来计算线性和；以及
傅里叶分量识别器，其使用所述线性和的傅里叶分量并且其被配置以识别所述分度误差的傅里叶分量。
2.根据权利要求1所述的分度误差估计装置，其中定义所述预定系数从而移除包含在所述线性和中的旋转角和运动误差。
3.一种分度误差校准装置，包括：
光栅盘，由旋转轴支撑；
至少四个检测器，布置在所述光栅盘上；和
分度误差估计器，包括：
检测值合成器，被配置以通过将从所述至少四个检测器的每个获得的每个检测值乘以预定系数来计算线性和；以及
傅里叶分量识别器，其使用所述线性和的傅里叶分量并且其被配置以识别所述分度误差的傅里叶分量。
4.根据权利要求3所述的分度误差校准装置，其中定义所述预定系数从而移除包含在所述线性和中的旋转角和运动误差。
5.一种用于分度误差校准装置的分度误差估计方法，所述分度误差校准装置具有由旋转轴支撑的光栅盘和布置在光栅盘上的至少四个检测器，所述估计方法包括：
合成检测值以通过将从所述至少四个检测器的每个获得的每个检测值乘以预定系数来计算线性和；以及
通过使用所述线性和的傅里叶分量识别所述分度误差的傅里叶分量。
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