[发明专利]一种光学基片镀膜前的清洗方法无效
申请号: | 201210387481.7 | 申请日: | 2012-10-12 |
公开(公告)号: | CN103721969A | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 龚选香;李刚;孙龙 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 马驰 |
地址: | 116023 *** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光学 镀膜 清洗 方法 | ||
1.一种光学基片镀膜前的清洗方法,其特征在于:
采用正庚烷和乙醇的混合液作为光学基片清洗液,于光学基片镀膜前对光学基片进行擦拭清洗。
2.按照权利要求1所述的清洗方法,其特征在于:该光学基片清洗液主要由正庚烷和乙醇组成;清洗液中正庚烷体积含量为70%~90%,乙醇的体积含量为10%~30%。
3.按照权利要求1或2所述的清洗方法,其特征在于:该光学基片清洗液主要由正庚烷和乙醇组成;清洗液中正庚烷最佳体积含量为75-85%,乙醇最佳体积含量为15-25%。
4.按照权利要求1所述的清洗方法,其特征在于:
于光学基片的镀膜前,采用正庚烷和乙醇配成的混合清洗液,滴在光学清洗无尘布上对光学基片进行擦拭清洗。
5.按照权利要求1所述的清洗方法,其特征在于:光学基片为光学石英玻璃基片或单晶硅基片。
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