[发明专利]补液装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体清洗技术领域，特别涉及一种补液装置。

背景技术

在半导体行业内，在很多工序上都需要对硅片进行各种清洗，在清洗的过程中会使用到各种化学液，并且各种化学液的浓度和成分比例各不相同，当混合配比时或使用一段时间后，药液的浓度都会发生变化，需要补给一定量的药液或超纯水。一般情况下，化学液都需要放在化学容器中（如槽或罐），首先在容器中加入一定容量的化学液，此药液的浓度已经满足要求的浓度。在使用过程中容器中化学液会被反复使用，在反复循环的过程中，药液的浓度会发生变化，又需要补充化学液或者超纯水。因此需要定期对容器内的化学液进行定量补给。目前，对药液或者超纯水的补给多采用计量泵等，需要信号控制或者反馈等，虽然能够实现精确的补给，但是体积较大并且相应的控制和结构等较复杂，而且成本较高。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种补液装置，可以实现液体的多种体积量的精确补给，从而可以在设定时间将精确的定量的液体定时分配到相关工艺单元。

（二）技术方案

本发明提供一种补液装置，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口。

其中，所述化学药液供给管路上设有化学药液供给气动阀。

其中，所述超纯水供给管路上设有超纯水供给气动阀。

其中，所述超纯水定量补给管路上设有超纯水定量补给气动阀、总补给气动阀以及定量泵。

其中，所述循环管路上依次设有将所述储液罐中的化学液输送到相应工艺单元的工艺气动阀、液体传输泵、手阀和将所述储液罐中的化学液加热过滤的加热过滤器。

其中，补液装置还包括：用于将工艺单元中的化学药液回收到所述储液罐中的回收管路。

其中，补液装置还包括：位于储液罐侧面用于感测化学液的液位传感器。

其中，所述储液罐为并行的两个储液罐。

（三）有益效果

本发明提供的补液装置，可随着化学药液的反复使用，药液的浓度变化，定时定量的补给，能够维持一定的药液浓度，从而保证工艺效果，操作简单。

附图说明

图1是本发明补液装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1所示，本发明提供的补液装置，包括：并行的两个储液罐（1，2）、为所述储液罐（1，2）提供化学药液的化学药液供给管路（3，4）、为所述储液罐（1，2）提供超纯水的超纯水供给管路（5，6）、为所述储液罐（1，2）定量补给超纯水的超纯水定量补给管路（7，8）和循环管路（10，11），所述循环管路（10，11）的一端与所述储液罐（1，2）出液口连接，另一端连接所述储液罐（1，2）进口。

所述化学药液供给管路（3，4）上设有化学药液供给气动阀（3’，4’）；所述超纯水供给管路（5，6）上设有超纯水供给气动阀（5’，6’）；所述超纯水定量补给管路（7，8）上设有超纯水定量补给气动阀（7’，8’）、总补给气动阀9’以及定量泵（10’，11’）。

所述循环管路（10，11）上依次设有将所述储液罐（1，2）中的化学液输送到相应工艺单元的工艺气动阀（12’，13’）、液体传输泵（14’，15’）、手阀（16’，17’）和将所述储液罐（1，2）中的化学液加热过滤的加热过滤器（18’，19’）。

补液装置还包括：用于将工艺单元中的化学药液回收到所述储液罐中的回收管路（12，13）以及位于储液罐（1，2）侧面用于感测化学液的液位传感器（20’，21’）。

工作原理：