[发明专利]偏振分辨激光诱导击穿光谱分析系统及其光谱分析的方法

权利要求书

1.一种偏振分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于，所述系统包括：脉冲激光器、激光脉冲光路、样品台、椭圆球面镜、光收集系统、偏振器件、光谱仪、计算机；

所述脉冲激光器用以产生激光，产生的激光经激光脉冲光路作用在位于样品台的样品上；

所述激光脉冲光路由一组全反射镜和透镜组成，或者为满足条件的光纤；

样品经脉冲激光剥蚀后产生的光辐射通过椭圆球面镜反射后再经光收集系统及偏振器件进入光谱仪；

所述计算机连接光谱仪，用以负责数据分析。

2.根据权利要求1所述的偏振分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：

所述椭圆球面镜长轴上的两个焦点分别作为样品方式位置和收集光聚焦点。

3.根据权利要求2所述的偏振分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：

所述椭圆球面镜长轴上的两个焦点中，近焦点作为样品放置位置，远焦点作为收集光焦点。

4.根据权利要求1所述的偏振分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：

所述光收集系统为一组透镜，或者为满足条件的光线。

5.根据权利要求1所述的偏振分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：

所述激光脉冲光路由两台全反镜和一个透镜组成。

6.根据权利要求1所述的偏振分辨激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：

所述激光脉冲光路为带透镜的光纤，作用于样品时的激光光路与椭圆球面镜的长轴重合。

7.利用权利要求1至6之一所述的偏振分辨激光诱导击穿光谱分析系统进行光谱分析的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

步骤S1，脉冲激光器发出高功率短脉冲激光经光路装置作用在样品上产生离子体火花；

步骤S2，弧光放电产生的电火花的发光光辐射经偏振器后通过光收集系统进入光谱仪；

步骤S3，光谱仪将信息传送至计算机做数据分析；

步骤S4，计算机控制光谱仪的输出波长或波长范围；

步骤S5，把样品的信号强度和元素浓度比较，分析得出元素样品的浓度。