[发明专利]五轴差分干涉仪

权利要求书

1.一种五轴差分干涉仪，特征在于其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为五轴分光系统和差分干涉模块。

2.根据权利要求1所述的五轴差分干涉仪，其特征在于：所述的五轴分光系统由4个45°平面分光镜和3个45°全反镜组成，其位置关系如下：

在偏振正交双频激光（IN）入射方向设置一个分光比为40%的第一45°平面分光镜（1），在该第一45°平面分光镜（1）的上方依次设置分光比33%第二平面分光镜（2）和第一45°全反镜(3)，2个50%第三平面分光镜（4）、第四平面分光镜（5）和一个全透镜（6）自下而上依次放置在同一个垂面上，2个第二45°全反镜（7）、第三45°全反镜（8）自下而上依次放置在另一个与其平行的垂面上；

第一45°平面分光镜（1）将入射的偏振正交双频激光（IN）分成40%的透射光束和60%的反射光束，沿该透射光束方向设置50%的第三45°平面分光镜(4)，经该第三45°平面分光镜（4）分为能量相等的透射光和反射光各一束，其中反射光束经第二45°全反镜(7)反射后，其传播方向与透射光平行，从而形成下层A、B号光；

经第一45°平面分光镜(1)反射能量为60%的反射光束则经过与第一45°平面分光镜（1）上下平行放置的分光比为33%的第二45°平面分光镜（2）又被分成能量相等的透射光束和反射光束；其中的反射光束又入射到50%的第四45°平面分光镜(5)，该第四平面分光镜（5）分为能量相等的透射光束和反射光束，其中的反射光束再经第三45°全反镜(8)反射后，使得传播方向与透射光平行，从而形成中层C、D号光；

经第二平面分光镜（2）的透射光束再经与第二平面分光镜（2）上下平行放置的第一45°全反镜(3)反射后也改变其传播方向并与上述各分光束平行；该光束又入射到一个全透镜(6)后形成上层E号光；这样，从激光器输出的一束双频激光经过该五轴分光系统后被分成能量相等且相互平行的五束光，上层一束,中、下层各两束。

3.根据权利要求1所述的五轴差分干涉仪，其特征在于：所述的差分干涉模块包括偏振分光镜(9)，在该偏振分光镜(9)的透光方向是第一四分之一波片(10)和测量反射镜(12) ，在该偏振分光镜(9)的反射光方向是第二四分之一波片(11) 和可调45°反射镜(13),在该可调45°反射镜的反射光方向是参考反射镜(14)，所述的测量镜(12)和参考镜(14)分别固定在测量物体上。

4.在该偏振分光镜(9)的第四方设有由下向上三层排列的五个直角棱镜。

5.根据权利要求3所述的五轴差分干涉仪，其特征在于：所述的五个直角棱镜的设置如下：自下而上

第一层：第一直角棱镜(15)、第二直角棱镜(16)；

第二层：第三直角棱镜(17)、第四直角棱镜(18)；

第三层：第五直角棱镜(19)。