[发明专利]能束照射系统和工件传输机构

权利要求书

1.一种能束照射系统，包括：

能束发射机构，所述能束发射机构朝预定的照射区域发射能束，以照射作为目标的至少一个第一工件和至少一个第二工件；

第一轨道运动机构，所述第一轨道运动机构使所述至少一个第一工件沿着预定的第一轨道作轨道运动，所述第一轨道包括所述照射区域；和

第二轨道运动机构，所述第二轨道运动机构使所述至少一个第二工件沿着预定的第二轨道作轨道运动，所述第二轨道包括所述照射区域，

其中当从垂直于由所述第一轨道和所述第二轨道形成的轨道运动表面的方向观看时，由所述第一轨道包围的第一区域和由所述第二轨道包围的第二区域至少部分地重叠。

2.根据权利要求1所述的能束照射系统，其中

所述第一轨道和所述第二轨道中的每一个包括彼此平行的直线轨道和连接在所述直线轨道的端部之间的半圆形轨道，

在所述第一轨道中，一个半圆形轨道具有第一中心，并且另一半圆形轨道具有第二中心，

在所述第二轨道中，一个半圆形轨道具有第三中心，并且另一半圆形轨道具有第四中心，并且

当从垂直于所述第一轨道和所述第二轨道的所述轨道运动表面的方向观看时，所述第一轨道的第一中心与所述第二轨道的第三中心彼此匹配，并且所述第一轨道的第二中心与所述第二轨道的第四中心彼此匹配。

3.根据权利要求1或2所述的能束照射系统，其中

所述第一轨道和所述第二轨道中的每一个彼此匹配。

4.根据权利要求1或2所述的能束照射系统，其中

在已进入所述照射区域的所述至少一个第一工件完全经过所述照射区域之前，所述至少一个第二工件进入所述照射区域。

5.根据权利要求3所述的能束照射系统，其中

在已进入所述照射区域的所述至少一个第一工件完全经过所述照射区域之前，所述至少一个第二工件进入所述照射区域。

6.根据权利要求1或2所述的能束照射系统，其中

分别沿着所述第一轨道和所述第二轨道的轨道运动方向多个并排地布置所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件。

7.根据权利要求3所述的能束照射系统，其中

分别沿着所述第一轨道和所述第二轨道的轨道运动方向多个并排地布置所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件。

8.根据权利要求4所述的能束照射系统，其中

分别沿着所述第一轨道和所述第二轨道的轨道运动方向多个并排地布置所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件。

9.根据权利要求5所述的能束照射系统，其中

分别沿着所述第一轨道和所述第二轨道的轨道运动方向多个并排地布置所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件。

10.根据权利要求1或2所述的能束照射系统，其中

当从垂直于所述轨道运动表面的方向观看时，所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件中的每一个工件均在沿着对应的轨道作轨道运动一次时返回至所述每一个工件的初始旋转角度。

11.根据权利要求3所述的能束照射系统，其中

当从垂直于所述轨道运动表面的方向观看时，所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件中的每一个工件均在沿着对应的轨道作轨道运动一次时返回至所述每一个工件的初始旋转角度。

12.根据权利要求4所述的能束照射系统，其中

当从垂直于所述轨道运动表面的方向观看时，所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件中的每一个工件均在沿着对应的轨道作轨道运动一次时返回至所述每一个工件的初始旋转角度。

13.根据权利要求5所述的能束照射系统，其中

当从垂直于所述轨道运动表面的方向观看时，所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件中的每一个工件均在沿着对应的轨道作轨道运动一次时返回至所述每一个工件的初始旋转角度。

14.根据权利要求6所述的能束照射系统，其中

当从垂直于所述轨道运动表面的方向观看时，所述至少一个第一工件和所述至少一个第二工件中的每一个工件均在沿着对应的轨道作轨道运动一次时返回至所述每一个工件的初始旋转角度。