[发明专利]非晶制带机中的输料装置无效
申请号: | 201210398842.8 | 申请日: | 2012-10-19 |
公开(公告)号: | CN102886502A | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | 朱正才 | 申请(专利权)人: | 张家港市清大星源微晶有限公司 |
主分类号: | B22D11/06 | 分类号: | B22D11/06;B22D11/10 |
代理公司: | 张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209 | 代理人: | 孙高 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 非晶制带机 中的 装置 | ||
1.非晶制带机中的输料装置,包括机架,机架上固定有喷包,其特征在于:所述喷包的顶部设置有顶管,喷包的正上方设置有可上下移动的坩埚,坩埚的顶部开口处设置有密封盖,密封盖中设置有加气管,坩埚的底部开口处设置有密封法兰,密封法兰的法兰孔中设置有顶板,顶板位于顶管的正上方。
2.根据权利要求1所述的非晶制带机中的输料装置,其特征在于:所述顶板中沿环向均匀设置有若干个锥孔,锥孔设置在顶板的下端面并且锥孔的顶端不穿透顶板的上端面。
3.根据权利要求1或2所述的非晶制带机中的输料装置,其特征在于:所述的顶板为碳化硅板。
4.根据权利要求1或2所述的非晶制带机中的输料装置,其特征在于:所述顶管与喷包之间的连接结构为:顶管的外部从上至下依次设置有减震环和固定环,减震环的上部设置有石墨垫圈,减震环与固定环之间设置有减震垫,固定环通过螺钉与喷包上端面相固定。
5.根据权利要求1或2所述的非晶制带机中的输料装置,其特征在于:所述密封法兰与坩埚之间的连接结构为:密封法兰有一个圆柱形筒体和法兰圈构成,法兰圈与坩埚的底部之间设置有石墨密封圈,法兰圈的下方设置有固定法兰,固定法兰与法兰圈之间设置有隔热棉,固定法兰与坩埚之间通过螺钉相固定。
6.根据权利要求1或2所述的非晶制带机中的输料装置,其特征在于:所述机架上设置有四个气缸,四个气缸的活动杆分别连接坩埚的四个边角处。
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