[发明专利]一种六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置

权利要求书

1.一种六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置，其特征在于，包括：外置储气罐、尾气回收装置主体；

所述尾气回收装置主体包括：通过气体连接管路与所述六氟化硫气体试验仪器的仪器进气口连接的待检气源入口；

所述待检气源入口与所述仪器进气口之间还设置有用于根据所述六氟化硫气体试验仪器的要求配置六氟化硫气体流量，使所述六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置适用于不同六氟化硫气体试验仪器的质量流量控制器；

一端通过气体连接管路与所述六氟化硫气体试验仪器的仪器尾气出口连接的，用于缓存从所述六氟化硫气体试验仪器回收的六氟化硫尾气的缓冲罐；

所述缓冲罐的另一端通过气体连接管路连接一用于对所述六氟化硫尾气进行压缩的气泵；

所述气泵通过气体连接管路连接一单向阀；所述单向阀连接回充管路的一端；

所述回充管路的另一端与所述外置储气罐密封连接，将经过回收压缩后的六氟化硫尾气输送至所述外置储气罐中进行存储。

2.如权利要求1所述的六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置，其特征在于，所述装置还包括电控系统；

所述缓冲罐装设有用于检测所述缓冲罐内气体压力的主压力传感器，在检测到所述缓冲罐内气体压力升高达到预设压力值时，向所述电控系统反馈信号，所述电控系统根据该信号向所述气泵发出启动指令，以将所述缓冲罐内缓存的六氟化硫尾气压缩并输送至所述外置储气罐；在所述气泵对所述六氟化硫尾气压缩过程中，所述主压力传感器检测到所述缓冲罐中的气体压力降低至大气压值时，停止工作。

3.如权利要求2所述的六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置，其特征在于，所述回充管路包括第一回充管路和第二回充管路；所述第一路回充管路包括通过气体连接管路依次顺序连接的第一电磁阀、第一压力传感器、第一回充口；所述第二路回充管路包括通过气体连接管路依次顺序连接的第二电磁阀、第二压力传感器、第二回充口；

在所述气泵启动时，所述缓冲罐中的六氟化硫尾气在气泵的作用下沿着所述气体连接管路通过所述单向阀进入第一回充管路，所述第一回充管路的第一电磁阀开启，所述六氟化硫尾气通过第一回充口输送至所述外置储气罐；

当所述第一回充管路的第一压力传感器检测到该第一回充管路上气体压力达到预设压力值时，向所述电控系统发送信号，所述电控系统接收到该信号后，控制第二回充管路上的第二电磁阀开启，所述第二回充管路导通，通过第二回充口将六氟化硫尾气输送至所述外置储气罐，同时控制第一电磁阀关闭。

4.如权利要求3所述的六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置，其特征在于，所述六氟化硫气体试验仪器包括：六氟化硫露点仪器，或六氟化硫纯度仪器，或六氟化硫分解产物仪器。

5.如权利要求4所述的六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置，其特征在于，所述气泵为隔膜泵。

6.如权利要求5所述的六氟化硫气体试验仪器尾气回收装置，其特征在于，所述质量流量控制器、缓冲罐、主压力传感器、单向阀、第一电磁阀、第一压力传感器、第二电磁阀、第二压力传感器采用轻型材料制成。