[发明专利]电子背散射衍射分析技术测试锆合金中科恩系数的方法

权利要求书

1.电子背散射衍射分析技术测试锆合金中科恩系数的方法，其特征在于，具体按照以下步骤进行：

步骤1制样

步骤1-1：

当检测锆合金科恩系数时，用线切割设备取样，样品尺寸：轧向，即X向尺寸10mm-15mm，横向，即Y向尺寸3mm-5mm，法向，即Z向尺寸为带材壁厚，取样测试面与轧向及横向构成的另一表面、即轧面平行，标记好方向；

步骤1-2：

将步骤1-1中切割切好的样品表面依次用120#、320#、500#、800#、1200#、2000#金相砂纸磨光，得到的锆合金样品厚度，即Z向尺寸为1mm-2mm；

步骤1-3：

对步骤1-2磨光的锆合金样品进行电解抛光；

步骤1-4：

将步骤1-3电解抛光完毕的锆合金样品，依次用去离子水和无水乙醇将锆合金样品表面冲洗干净，凉风吹干；

步骤2采用电子背散射衍射分析技术观察

步骤2-1：

电子背散射衍射分析技术测试条件如下：电子背散射衍射分析主机、高分辨型CCD相机、CHANNEL5软件、倾斜样品台；

首先将锆合金样品放置在倾斜样品台上，使轧向与倾斜样品台的水平方向平行，调整倾斜样品台与高分辨型CCD相机探头的相对位置，使倾斜样品台的水平方向与高分辨型CCD相机探头的水平方向相互平行；

步骤2-2：

采用电子背散射衍射分析主机，工作距离13mm-16mm，电压20kV，电流70mA-80mA，在100-300倍时采集背底，300-500倍时测试取向信息，在CHANNEL5软件中采用点阵常数a=0.3231nm，c=0.5148nm，空间群为6/mmm的锆单胞进行标定；

步骤2-3：

建立OXYZ坐标系；其中，a=a₁=a₂=a₃=0.3231nm，c=0.5148nm，a₁、a₂、a₃和c为密排六方晶系的四个晶轴；

电子背散射衍射分析主机获得的数据为测试样品晶面的欧拉角{ψ，θ，}，与欧拉角{ψ，θ，}对应的晶面与X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的夹角的余弦依次为：cosθ；

因此X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的科恩系数表示为：

fz=ΣiSi×cos2θΣiSi]]>

其中S_i为EBSD测试的第i个晶粒的面积，θ，为该晶粒在取向空间中对应的欧拉角{ψ，θ，}，S_i可由CHANNEL5软件中的Tango软件获得；

单次测试标定率>90%，计算得到锆合金样品科恩系数。

2.根据权利要求1所述的电子背散射衍射分析技术测试锆合金中科恩系数的方法，其特征在于，所述步骤1-3中电解抛光的具体过程是，按照乙醇：乙二醇丁醚：高氯酸=7：1：2的质量比配置电解液，将锆合金样品放在配置好的电解液中，在电压30V-45V、温度-20℃-0℃下电解15s-45s。

3.根据权利要求2所述的电子背散射衍射分析技术测试锆合金中科恩系数的方法，其特征在于，所述乙醇为浓度95%的乙醇，高氯酸为浓度30%的高氯酸。