[发明专利]光纤Fabry‑Perot位移传感系统

权利要求书

1.一种光纤法布里－珀罗Fabry-Perot位移传感系统，用于测量被测物体的振动位移量，包括：光纤Fabry-Perot位移传感器，其特征在于：所述光纤Fabry-Perot位移传感器包括：准直透镜和夹持装置，所述准直透镜带有尾纤，且所述准直透镜被所述夹持装置所夹持固定；或者，所述光纤Fabry-Perot位移传感器包括：光纤和夹持装置，所述光纤的一端面被切平，且所述光纤被所述夹持装置所夹持固定。

2.如权利要求1所述的光纤Fabry-Perot位移传感系统，其特征在于：所述准直透镜的出光面或者所述光纤被切平的端面采用不镀膜结构或者镀半反半透膜结构。

3.如权利要求1所述的光纤Fabry-Perot位移传感系统，其特征在于：所述准直透镜的出光面或者所述光纤被切平的端面的出射光直接到达被测物体的表面或者经过会聚透镜到达被测物体的表面。

4.如权利要求1所述的光纤Fabry-Perot位移传感系统，其特征在于：还包括光频调制相位载波信号解调系统；所述光频调制相位载波信号解调系统向所述光纤Fabry-Perot位移传感器发射激光信号，所述激光信号通过光纤Fabry-Perot位移传感器入射到被测物体；所述光纤Fabry-Perot位移传感器接收所述被测物体返射回的光信号，并向所述光频调制相位载波信号解调系统反馈干涉信号；所述光频调制相位载波信号解调系统根据所述激光信号和返回的干涉信号，计算得到所述被测物体相对于所述光纤Fabry-Perot位移传感器的位移量。

5.如权利要求4所述的光纤Fabry-Perot位移传感系统，其特征在于：所述光频调制相位载波信号解调系统包括：

光电转换器I，用于将所述激光信号转换为电信号I；

光电转换器II，用于将所述光纤Fabry-Perot位移传感器返回的干涉信号，转换为电信号II；

模数转换器，用于将所述电信号I转换为数字信号I，将所述电信号II转换为数字信号II；

微处理器，用于对所述数字信号I和数字信号II进行除法运算，得到消除光功率调制的干涉信号，然后将所述消除光功率调制的干涉信号分为两路，分别与一倍频载波信号和二倍频载波信号进行乘法运算，并将得到的信号再分别进行低通滤波得到两个相互正交的干涉信号，再对该两个相互正交的干涉信号进行除法运算，并对除法运算的结果进行求反正切运算，以及对求反正切运算得到的相位进行增量相位运算得到相位变化，最后对所述相位变化进行比例运算，得到所述被测物体相对于所述光纤Fabry-Perot位移传感器的位移量。

6.如权利要求4所述的光纤Fabry-Perot位移传感系统，其特征在于：所述光频调制相位载波信号解调系统包括：

光电转换器I，用于将所述激光信号转换为电信号I；

光电转换器II，用于将所述光纤Fabry-Perot位移传感器返回的干涉信号转换为电信号II；

模数转换器，用于将所述电信号I转换为数字信号I，将所述电信号II转换为数字信号II；

微处理器，用于对所述数字信号I和数字信号II进行除法运算，得到消除光功率调制的干涉信号，然后将所述消除光功率调制的干涉信号分为两路，分别与一倍频载波信号和二倍频载波信号进行乘法运算，并将得到的信号再分别进行低通滤波得到两个相互正交的干涉信号I₁、I₂，再对该两个相互正交的干涉信号分别进行微分运算，得到I₁′、I₂′再进行I₁′*I₂－I₂′*I₁，再进行积分运算和高通滤波得到相位变化，最后对所述相位变化进行比例运算，得到所述被测物体相对于所述光纤Fabry-Perot位移传感器的位移量。