[发明专利]一种四氯化硅氢化改进方法及其装置

权利要求书

1.一种四氯化硅氢化改进方法，其特征在于，该方法步骤如下：（1）将干燥好的纯度为95～98%的金属硅粉平铺于氢化反应器中，其平铺的高度为2～3m；（2）将预热的四氯化硅气体与氢气按摩尔质量比1:1～5混合均匀后通入氢化反应器，同时持续通入预热的氯化氢气体，其与四氯化硅的摩尔质量比为2:1～10，反应后得到混合气体A；（3）将混合气体A依次进行干法除尘、湿法除尘后得到混合气体B；（4）将混合气体B降温至10～70℃，分离出的氢气进入步骤（1）中循环使用，并得到混合液体C；（5）将混合液体C送至精馏装置，在30～100°C温度下进行蒸馏分离，混合液中被分离出的四氯化硅再进入步骤（1）中循环使用。

2. 根据权利要求1所述的一种四氯化硅氢化改进方法，其特征在于，步骤（2）中氢化反应器的温度为600～700°C，压力为3.0～4.0MPa。

3. 根据权利要求1所述的一种四氯化硅氢化的改进方法，其特征在于，步骤（3）中将混合气体A进行干法除尘时，未反应的硅粉颗粒收集在干法除尘装置底部，收集的硅粉通过连通管A直接进入氢化反应器中循环使用。

4.用于实现权利要求1所述的四氯化硅氢化改进方法的装置，其特征在于，该装置包括依次连接在一起的氢化反应器（1）、干法除尘装置（2）、热量回收装置（3）、湿法除尘装置（4）、降温装置（5）、液体储罐（6）及精馏装置（7），其中液体储罐（6）也连接于湿法除尘装置（4）上。

5.根据权利要求4所述的四氯化硅氢化改进方法的装置，其特征在于，干法除尘装置(2)底部装有通向氢化反应器中部的连通管A(8)，且连通管上装有阀门(9)，连通管A(8)的倾斜角度为50～60°。

6.根据权利要求4所述的四氯化硅氢化改进方法的装置，其特征在于，湿法除尘装置由文丘里管(10)和残夜回收装置(11)组成，文丘里管(10)底部开有残夜通道，且其通过连通管B(12)与残夜回收装置(11)连接。