[发明专利]用于导线键合机的自动线尾调节系统有效
申请号: | 201210403263.8 | 申请日: | 2012-10-22 |
公开(公告)号: | CN103077903A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 宋景耀;李卫华;王屹滨;郭文华;张鑫伟 | 申请(专利权)人: | 先进科技新加坡有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人: | 周春发 |
地址: | 新加坡2义顺*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 导线 键合机 自动线 调节 系统 | ||
1.一种用于形成导线互连的导线键合方法,其包括锲形导线键合,该方法包含有以下步骤:
使用尖管以形成锲形导线键合;
使用设置在导线夹具和尖管上方的导线固定设备以在导线夹具打开和没有夹持在导线上的同时锁固该导线;
在远离锲形导线键合和朝向导线固定设备的方向上相对于导线提升导线夹具和尖管,以便于自该尖管送出一段导线;
在尖管的预定高度处,闭合导线夹具以夹持在导线上;其后
移动尖管和导线夹具更进一步远离锲形导线键合,而引起导线自该锲形导线键合处断开,以致于形成从尖管延伸的、具有期望长度的线尾。
2.如权利要求1所述的导线键合方法,该方法还包含有以下步骤:
在闭合导线夹具之后,将导线从由导线固定设备的锁固中释放。
3.如权利要求1所述的导线键合方法,该方法还包含有以下步骤:
在形成线尾之后,在预定高度处定位尖管,并朝向电性导电表面逐渐降低线尾;
确定从尖管延伸的线尾的长度;其后
产生火花熔融线尾的端部,以产生熔融的焊球而便于进行后续的导线键合。
4.如权利要求3所述的导线键合方法,其中,确定从尖管延伸的线尾的长度的步骤还包含有以下步骤:
使用接触检测设备以检测线尾接触电性导电表面的垂直位置,并根据线尾接触电性导电表面的所述垂直位置确定线尾的长度。
5.如权利要求4所述的导线键合方法,其中,该接触检测设备包含有:
第一电极,其和键合导线电性连接;
第二电极,其和电性导电表面电性连接。
6.如权利要求3所述的导线键合方法,其中,检测从尖管延伸的线尾的长度的步骤还包含有以下步骤:
将电气传感器分别连接至导线和电性导电表面上以形成电路回路,其中当导线不和电性导电表面相接触时电路回路是断开的,而当导线和电性导电表面相接触时电路回路是闭合的;
将尖管朝向电性导电表面逐渐移动,直到导线和电性导电表面相接触而将电路回路闭合;其后
当电路回路闭合时确定从尖管端部延伸至位于尖管的垂直位置处的电性导电表面的线尾长度。
7.如权利要求1所述的导线键合方法,该方法还包含有从尖管处送出一段附加的线尾的步骤,该从尖管处松开一段附加的线尾的步骤包含有以下步骤:
将导线从导线固定设备的锁固中释放;
在远离导线固定设备和朝向尖管的方向上使用导线夹具拉引导线;
使用导线固定设备锁固导线;
在导线夹具打开之后,在朝向导线固定设备的方向上相对于导线移动尖管和导线夹具,以从尖管中送出导线;其后
使用导线夹具夹持导线,并将导线从导线固定设备的锁固中释放。
8.如权利要求1所述的方法,其中,如果导线粘附于尖管,那么该方法还包含有以下步骤:
在粘附于尖管的导线上产生一个或多个电火花,以熔融导线,并然后使熔融的线尾从尖管处离开。
9.如权利要求1所述的方法,其中,如果导线粘附于尖管,那么该方法还包含有以下步骤:
将粘附的导线设置在已经预键合在一表面上的焊球上,将粘附的导线安装在焊球上,并将粘附的导线自尖管分离,然后,将导线从尖管处延伸,其后将导线从焊球处断开。
10.如权利要求1所述的方法,其中,如果导线夹具不能从尖管处送出更多的导线以延长线尾,或者线尾不适合于形成正常的球形导线键合,那么该方法还包含有以下步骤:
形成包含有第一导线键合和第二导线键合的线弧,并从第二导线键合处断开导线,以形成从尖管延伸的、具有期望长度的一段新的线尾。
11.如权利要求1所述的方法,其中,如果导线夹具不能从尖管处送出更多的导线以延长线尾,那么该方法还包含有以下步骤:
形成球形导线键合,将尖管和球形导线键合之间的导线长度延长,其后,从球形导线键合处断开导线以形成从尖管延伸的、具有期望长度的一段新的线尾。
12.如权利要求1所述的方法,其中,该导线固定设备包括导线夹具。
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