[发明专利]卧式滚筒真空镀膜机无效
申请号: | 201210405753.1 | 申请日: | 2012-10-22 |
公开(公告)号: | CN102912297A | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 李志荣;李志方;罗志明 | 申请(专利权)人: | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/56 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人: | 张明 |
地址: | 523838 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 卧式 滚筒 真空镀膜 | ||
1.一种卧式滚筒真空镀膜机,其特征在于,包括空心圆筒状壳体,所述壳体内固定有密封隔板,所述密封隔板将壳体内部分为两个互相独立的区域,其中一区域设置为真空的密封隔离区,另一区域为镀膜室用于容置镀膜用器件。
2.根据权利要求1所述的卧式滚筒真空镀膜机,其特征在于:所述密封隔板为圆筒状,密封隔板与所述壳体同轴设置,所述密封隔板内部为所述密封隔离区,密封隔板与壳体之间的环状区域为所述镀膜室。
3.根据权利要求1或2所述的卧式滚筒真空镀膜机,其特征在于:所述密封隔板为不锈钢材质。
4.根据权利要求3所述的卧式滚筒真空镀膜机,其特征在于:所述密封隔板的直径为所述壳体直径的0.5~0.8倍。
5.根据权利要求4所述的卧式滚筒真空镀膜机,其特征在于:所述壳体直径为2.8米,所述密封隔板直径为2米。
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