[发明专利]卧式滚筒真空镀膜机无效

专利信息
申请号: 201210405753.1 申请日: 2012-10-22
公开(公告)号: CN102912297A 公开(公告)日: 2013-02-06
发明(设计)人: 李志荣;李志方;罗志明 申请(专利权)人: 东莞市汇成真空科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C23C14/56
代理公司: 深圳市博锐专利事务所 44275 代理人: 张明
地址: 523838 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 卧式 滚筒 真空镀膜
【权利要求书】:

1.一种卧式滚筒真空镀膜机,其特征在于,包括空心圆筒状壳体,所述壳体内固定有密封隔板,所述密封隔板将壳体内部分为两个互相独立的区域,其中一区域设置为真空的密封隔离区,另一区域为镀膜室用于容置镀膜用器件。

2.根据权利要求1所述的卧式滚筒真空镀膜机,其特征在于:所述密封隔板为圆筒状,密封隔板与所述壳体同轴设置,所述密封隔板内部为所述密封隔离区,密封隔板与壳体之间的环状区域为所述镀膜室。

3.根据权利要求1或2所述的卧式滚筒真空镀膜机,其特征在于:所述密封隔板为不锈钢材质。

4.根据权利要求3所述的卧式滚筒真空镀膜机,其特征在于:所述密封隔板的直径为所述壳体直径的0.5~0.8倍。

5.根据权利要求4所述的卧式滚筒真空镀膜机,其特征在于:所述壳体直径为2.8米,所述密封隔板直径为2米。

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