[发明专利]一种氧化锌衬底转移石墨烯的退火方法有效
| 申请号： | 201210408178.0 | 申请日： | 2012-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN102931076A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 王东;宁静;韩砀;闫景东;柴正;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L21/324 | 分类号： | H01L21/324;H01L21/477 |
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| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 衬底 转移 石墨 退火 方法 | ||
1.一种基于氧化锌衬底转移石墨烯的退火方法，其特征在于，
采用低压低温气氛退火的方式，针对氧化锌衬底，通过改变气氛条件，调节退火温度和退火处理的时间，去除转移过程中的PMMA光刻胶残留，并尽可能减少掺杂效应对石墨烯性能的影响，改善了石墨烯和衬底的结合状况，消除了残胶引起的性能退化，为氧化锌-石墨烯结构器件提供了材料。
2.如权利要求1所述的退火方法，其特征在于，该退火方法包括以下步骤：
(1)将转移至ZnO衬底的石墨烯进行PMMA定型、下方金属腐蚀、漂洗和PMMA光刻胶去除步骤之后，放入真空气氛管式炉；
(2)管式炉抽真空至0.1Pa，向管式炉通入高纯Ar气；
(3)关闭Ar流量，待真空重新恢复至0.1Pa，通入高纯H2；
(4)设定加热程序，将衬底缓慢加热至，保持真空泵的抽速和步骤(3)中H2流量不变；
(5)关闭加热程序，系统温度缓慢降至室温，关闭气体流量，关闭真空泵。
3.如权利要求2所述的退火方法，其特征在于，管式炉抽真空至0.1Pa，向管式炉通入高纯Ar气，流量100～200sccm，时间5～20min，以便赶出腔室中的空气。
4.如权利要求2所述的退火方法，其特征在于，关闭Ar流量，待真空重新恢复至0.1Pa，通入高纯H2，流量5～30sccm，时间10～20min。
5.如权利要求2所述的退火方法，其特征在于，设定加热程序，将衬底缓慢加热至150～400℃，加热速率1～5℃/min，保持真空泵的抽速和步骤(3)中H2流量不变，时间1～3h。
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