[发明专利]电镀液和电镀方法

权利要求书

1.一种铜电镀液，所述铜电镀液包括：铜离子源，电解质和整平剂，其中整平剂是一种或多种环状二氮杂化合物和一种或多种含环氧化物的化合物的反应产物；其中至少一种环状二氮杂化合物具有结构式(I)

其中E为C(O)或者CR³R⁴；G为CR⁵R⁶或者化学键；R¹和R²分别选自H、(C₁-C₆)烷基和(C₆-C₁₀)芳基；R³-R¹⁰分别选自H、(C₁-C₆)烷基、(C₆-C₁₀)芳基和羟基；R¹和R²、R²和R³、R³和R⁵、R⁵和R⁷、R⁷和R⁹以及R⁹和R¹中的每一组可以结合形成化学键；并且位于相邻环原子上的R¹-R¹⁰中的任一个可以与与其连接的原子结合形成5元或者6元饱和或者不饱和环。

2.根据权利要求1的铜电镀液，其特征在于含环氧化物的化合物包含1-3个环氧基团。

3.根据权利要求2的铜电镀液，其特征在于含环氧化物的化合物选自下列结构式的化合物

其中Y、Y¹和Y²分别选自H或者(C₁-C₄)烷基；每个Y³分别选自H、环氧基团和(C₁-C₆)烷基；X为CH₂X²或者(C₂-C₆)烯基；X¹为H或者(C₁-C₅)烷基；X²为卤素、O(C₁-C₃)烷基或者O(C₁-C₃)卤代烷基；A为OR¹¹或者R¹²；R¹¹为((CR¹³R¹⁴)_mO)_n、(芳基-O)_p、CR¹³R¹⁴-Z-CR¹³R¹⁴O或者OZ¹_tO；R¹²＝(CH₂)_y；Al为(C₅-C₁₂)环烷基或者5元至6元的环状砜环；Z为5元或者6元环；Z¹为R¹⁵OArOR¹⁵、(R¹⁶O)_aAr(OR¹⁶)_a或者(R¹⁶O)_aCy(OR¹⁶)_a；Z²为SO₂或者Cy为(C₅-C₁₂)环烷基；每一个R¹³和R¹⁴分别选自H、CH₃和OH；每个R¹⁵表示(C₁-C₈)烷基；每个R¹⁶表示(C₂-C₆)亚烷氧基；每个a＝1-10；m＝1-6；n＝1-20；p＝1-6；q＝1-6；r＝0-4；t＝1-4；v＝0-3；和y＝0-6；其中Y¹和Y²可以结合形成(C₈-C₁₂)环状化合物。