[发明专利]用于线锯的线引导件的夹具组件有效
申请号: | 201210415368.5 | 申请日: | 2012-10-22 |
公开(公告)号: | CN103056977A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 安德烈亚斯·施密特;纪尧姆·麦卡;亚历山大·米塔兹 | 申请(专利权)人: | 应用材料瑞士有限责任公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04;B28D5/04 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 王安武 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 引导 夹具 组件 | ||
1.一种夹具组件,其用于连接到用于切割晶片的线锯的圆柱形线引导件(321),所述夹具组件包括:
轴侧连接器(50、502、505),其适合于连接到线锯的轴,所述轴具有旋转轴线(10),其中,所述轴侧连接器(50、502、505)包括:
外表面(30),其与所述轴线(10)垂直并且适合于抵靠所述线引导件(321)的互补连接器(51、503、504)的互补外表面(31),以及
在所述外表面(30)与所述轴线(10)之间的锥表面(40),所述锥表面(40)被绕所述轴线(10)对称地布置并且适合于抵靠所述线引导件的互补表面(41)。
2.根据权利要求1所述的夹具组件,其中,所述外表面(30)是平坦的。
3.根据权利要求1所述的夹具组件,其中,
所述外表面(30)与所述锥表面(40)相邻。
4.根据权利要求1所述的夹具组件,其中,所述外表面(30)是环形成形的。
5.根据权利要求1所述的夹具组件,其中,
所述外表面(30)的一部分被定位在从所述轴线(10)到所述轴侧连接器(502、505)的径向外边缘(90)的距离的至少约65%、70%、75%或80%的距离处。
6.根据权利要求1所述的夹具组件,其中,
所述轴侧连接器(50)的所述锥表面(40)包括可变形材料。
7.根据权利要求1所述的夹具组件,其中,
所述锥表面(40)包括1、2、3、或4个锥部分。
8.根据权利要求1所述的夹具组件,其中,
所述轴侧连接器(50)是中空的。
9.根据权利要求1所述的夹具组件,其中,所述轴侧连接器(50、502、505)是母连接器。
10.根据权利要求1所述的夹具组件,还包括
保持机构(70、71),其从液压系统、气压系统、螺纹件或这些项的组合中选择。
11.根据任何在先权利要求所述的夹具组件,还包括
所述轴被连接到所述轴侧连接器。
12.一种夹具组件,其用于将圆柱形线引导件(321)连接到线锯的轴,所述线锯适合于切割晶片,其中
所述轴具有旋转轴线(10),
所述夹具组件包括:
外表面(31),其与所述轴线(10)垂直并且适合于抵靠所述轴的互补连接器(50、503、504)的互补外表面(30),以及
在所述外表面(30)与所述轴线(10)之间的锥表面(40),所述锥表面(40)被绕所述轴线(10)对称地布置,并且适合于抵靠所述互补连接器(50)的互补表面(40)。
13.根据权利要求12所述的夹具组件,其中
所述锥表面(40)被安装到所述线引导件(321)。
14.根据权利要求12所述的夹具组件,其中,所述外表面(30)与所述锥表面(40)相邻。
15.根据权利要求12所述的夹具组件,其中
所述圆柱形线引导件(321)包括碳纤维加强的聚合物部分(100)。
16.根据权利要求12所述的夹具组件,其中
所述外表面(30)是环形成形的。
17.根据权利要求12所述的夹具组件,其中,所述外表面(30)包括1、2、3或4个部分。
18.一种线锯,其具有根据权利要求1-17中任意一项所述的至少一个夹具组件。
19.一种晶片锯切系统,其包括:
铸块输入模块;
铸块输出模块;
两个或更多个线锯切室,每个锯切室包括:
两个线引导圆筒,其中,所述线引导圆筒中的至少一者由根据权利要求1-17中任意一项所述的夹具组件夹住;
至少一个线,其被布置为横跨两个所述线引导圆筒;
支撑台,其被构造为接收单个铸块;以及
铸块定位系统,其被构造为将布置在所述支撑台上的所述单个铸块向所述至少一个线推动;以及
机器人,其被构造为将所述单个铸块在所述铸块输入模块、所述两个或更多个线锯切室的至少一者以及所述铸块输出室之间传送。
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