[发明专利]基于双哈特曼探测器的分光镜像差测量系统

权利要求书

1.一种基于双哈特曼探测器的分光镜像差测量系统，其特征在于：它包括第一哈特曼探测器（1）、第二哈特曼探测器（2）、高能激光器（3）、离轴聚焦反射镜（5）、功率计（6）、同步控制器（7）和计算机（8），所述第一哈特曼探测器（1）和第二哈特曼探测器（2）呈对称状布置于待测分光镜（4）的两侧，所述高能激光器（3）发出的高功率激光入射至待测分光镜（4）前表面后，一部分光能量被待测分光镜（4）反射至离轴聚焦反射镜（5），然后被功率计（6）接收；所述同步控制器（7）发出同步触发信号控制高能激光器（3）开启、第一哈特曼探测器（1）和第二哈特曼探测器（2）进行采集；所述第一哈特曼探测器（1）和第二哈特曼探测器（2）测得的子孔径偏移量数据被实时传送给计算机（8），通过所述计算机（8）分析得到待测分光镜（4）的反射像差和透射像差随高能激光功率和辐照时间的变化特性。

2.根据权利要求1所述的基于双哈特曼探测器的分光镜像差测量系统，其特征在于：所述高能激光器（3）发出的高功率激光以25°角入射至待测分光镜（4）的前表面。

3.根据权利要求1所述的基于双哈特曼探测器的分光镜像差测量系统，其特征在于，所述第一哈特曼探测器（1）的标定流程为：所述第一哈特曼探测器（1）利用内部配备的激光器发出与接收系统共光路的准直探测光束，将一标准平面反射镜（9）放置于第一哈特曼探测器（1）的前方，调整标准平面反射镜（9）的角度和位置，使探测光束经标准平面反射镜（9）反射后被第一哈特曼探测器（1）自身接收；调整探测光的强度和第一哈特曼探测器（1）内部的可调节中性滤光片，使第一哈特曼探测器（1）各子孔径内光斑均可见且曝光适度，运行标定程序确定哈特曼测量零点。

4.根据权利要求3所述的基于双哈特曼探测器的分光镜像差测量系统，其特征在于，所述第二哈特曼探测器（2）的标定流程为：将所述第一哈特曼探测器（1）发出的准直探测光束作为标定光，所述第二哈特曼探测器（2）采用接收外部信号光方式工作，通过粗精对准功能调整自身光瞳及光轴位置，使第一哈特曼探测器（1）的探测光束进入第二哈特曼探测器（2）的各子孔径视场，并调节光强衰减使光斑曝光适度，运行标定程序确定第二哈特曼探测器（2）的测量零点。