[发明专利]磷扩散炉的三氯氧磷排除装置

权利要求书

1.磷扩散炉的三氯氧磷排除装置，其特征在于：包括缓冲箱与抽风管，该缓冲箱包括方形的缓冲箱体，所述缓冲箱内壁涂覆有特氟龙涂层，所述缓冲箱体后侧壁上设有炉管开口，所述缓冲箱体前侧敞口并设有密封门，所述密封门右侧与缓冲箱体铰接，所述密封门左侧与缓冲箱体之间设有锁闭结构，所述密封门上设有导流结构，所述缓冲箱体右侧壁上设有抽风管开口；该抽风管为U形管，抽风管一端设置开口方向与抽风管左侧管道垂直的进风口，抽风管另一端设有高于进风口的出风口，该出风口开口向上并连接抽风机，抽风管的管道内壁设有特氟龙涂层；磷扩散炉的炉管通过所述炉管开口伸入所述缓冲箱，抽风管进风口通过抽风管开口与缓冲箱连通。

2.根据权利要求1所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置，其特征在于：所述密封门上边沿、下边沿及右边沿设有密封条进行密封。

3.根据权利要求2所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置，其特征在于：所述导流结构为密封门左侧边沿的导流槽。

4.根据权利要求3所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置，其特征在于：所述锁闭结构包括导流槽中间安装的挂钩及缓冲箱体左侧边对应该挂钩设置的挂扣。

5.根据权利要求4所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置，其特征在于：所述缓冲箱为312不锈钢结构。

6.根据权利要求1所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置，其特征在于：所述抽风管的左侧管道顶壁上设有喷淋氨水的氨水喷嘴。

7.根据权利要求6所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置，其特征在于：所述抽风机为混流风机。

8.根据权利要求7所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置，其特征在于：所述抽风管包括横截面为方形的管道本体，所述管道本体内设有一竖直的中间隔板将抽风管分隔成U形结构。

9.根据权利要求8所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置，其特征在于：所述管道本体底端开口并连接一密封水箱。

10.根据权利要求1所述的磷扩散炉的三氯氧磷排除装置，其特征在于：所述特氟龙涂层喷涂厚度为0.2-10mm。