[发明专利]一种氧化硅化合物溶液及其应用在审

专利信息
申请号: 201210417959.6 申请日: 2007-10-26
公开(公告)号: CN102967993A 公开(公告)日: 2013-03-13
发明(设计)人: M.A.弗舒伦 申请(专利权)人: 皇家飞利浦电子股份有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 汪扬
地址: 荷兰艾*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要:
搜索关键词: 一种 氧化 化合物 溶液 及其 应用
【权利要求书】:

1.一种氧化硅化合物溶液,包括具有Si-O-Si交联程度的氧化硅化合物,其特征在于,氧化硅化合物的硅原子是由化学键合到四个氧原子的硅原子以及化学键合到三个氧原子和一个不同于氧的原子的硅原子组成,所述硅原子和所述一个不同于氧的原子之间的化学键并不能形成Si-O-Si化学键,其中所述氧化硅化合物溶液是通过将氧化硅化合物前驱体和至少一种单官能团化三烷氧基硅烷混合来制备,该混合物与酸的水溶液反应以形成该氧化硅化合物,其中所述酸是弱酸,并且所述氧化硅化合物溶液还包括溶剂。

2.根据权利要求1的氧化硅化合物溶液,其中所述弱酸是蚁酸、乙酸、丙酸、马来酸、柠檬酸和草酸中的任意一种。

3.根据权利要求2的氧化硅化合物溶液,其中所述弱酸是蚁酸或乙酸。

4.根据权利要求1到3任一项所述的氧化硅化合物溶液,其中所述溶剂是n-丙醇、异丙醇、丁醇的异构体、酯或醚或其混合物。

5.根据权利要求1到3任一项所述的氧化硅化合物溶液,其中所述溶剂包含第一溶剂和第二溶剂,所述第一溶剂的蒸气压高于所述第二溶剂的蒸气压。

6.根据权利要求1到3任一项所述的氧化硅化合物溶液,其中所述氧化硅化合物前驱体是四烷氧基硅烷。

7.根据权利要求1到3任一项所述的氧化硅化合物溶液,其中该单官能团化三烷氧基硅烷的单官能度包含碳原子,该单官能度藉由该碳原子而化学键合到该硅原子。

8.根据权利要求7的氧化硅化合物溶液,其中所述碳原子为具有少于四个碳原子的烷基基团的一部分。

9.根据权利要求8的氧化硅化合物溶液,其中该碳原子为sp3杂化且为主烷基基团的一部分。

10.根据权利要求9的氧化硅化合物溶液,其中该主烷基基团为甲基基团。

11.根据权利要求7所述的氧化硅化合物溶液,其中所述四烷氧基硅烷和单官能团化三烷氧基硅烷中的任一个或者两者的烷氧基团都是甲氧基基团或者都是乙氧基基团。

12.根据权利要求1到3任一项所述的氧化硅化合物溶液,其中化学键合到四个氧原子的硅/化学键合到三个氧原子和一个不同于氧的原子的硅的摩尔比例小于3/2。

13.根据权利要求12所述的氧化硅化合物溶液,其中所述摩尔比例高于2/3。

14.根据权利要求1所述的氧化硅化合物溶液,其中所述氧化硅化合物溶液包括纳米颗粒。

15.根据权利要求14所述的氧化硅化合物溶液,其中所述纳米颗粒包括氧化硅。

16.根据前述权利要求中任一项所述的氧化硅化合物溶液在压花方法中形成将被压花的层的用途。

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