[发明专利]陀螺传感器、电子设备以及陀螺传感器的制造方法

权利要求书

1.一种陀螺传感器，包括：

驱动部，其具备与驱动用弹簧部相连接的驱动用支承部；

检测部，其具备检测用支承部，所述检测用支承部经由检测用弹簧部而与所述驱动用支承部相连接，

所述驱动用支承部能够在第一轴的方向上进行振动，所述检测用支承部能够在与所述第一轴正交的第二轴的方向上进行位移，

当将所述驱动部的共振频率设定为f₁，将所述检测部的共振频率设定为f₂，将所述驱动用弹簧部的宽度设定为w₁，并将所述检测用弹簧部的宽度设定为w₂时，将满足下述式（1），即，

0.87(f₂/f₁)≤(w₂/w₁)≤1.13(f₂/f₁)…（1），

但是，w₁≠w₂且f₁≠f₂。

2.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

满足下述式（2），即，

(w₂/w₁)＝(f₂/f₁)…（2）。

3.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

所述驱动部的共振频率f₁与所述检测部的共振频率f₂之间的关系为，f₁＜f₂。

4.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

所述驱动用弹簧部及所述检测用弹簧部通过干蚀刻法而形成。

5.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

还包括驱动用固定电极和检测用固定电极，

所述驱动部具备与所述驱动用支承部相连接的驱动用可动电极，

所述驱动用固定电极以与所述驱动用可动电极对置的方式而配置，

所述检测部具备与所述检测用支承部相连接的检测用可动电极，

所述检测用固定电极以与所述检测用可动电极对置的方式而配置。

6.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

所述驱动用支承部具备开口部，

所述检测部被配置在所述开口部内。

7.如权利要求1所述的陀螺传感器，其中，

所述驱动部包括在所述第一轴的方向上并排配置的第一驱动部和第二驱动部，

所述检测部包括：

第一检测部，其与所述第一驱动部相连接；

第二检测部，其与所述第二驱动部相连接，

所述第一驱动部及所述第二驱动部沿着所述第一轴而相互以反相位进行振动。

8.一种电子设备，包括：

权利要求1所述的陀螺传感器。

9.一种陀螺传感器的制造方法，包括：

通过干蚀刻法来对基板进行加工，从而形成驱动部和检测部的工序，所述驱动部具备驱动用弹簧部、及与所述驱动用弹簧部相连接的驱动用支承部，所述检测部具备与所述驱动用支承部相连接的检测用弹簧部、及与所述检测用弹簧部相连接的检测用支承部，

所述驱动用支承部能够在第一轴的方向上进行振动，所述检测用支承部能够在与所述第一轴正交的第二轴的方向上进行位移，

当将所述驱动部的共振频率设定为f₁，将所述检测部的共振频率设定为f₂，将所述驱动用弹簧部的宽度设定为w₁，并将所述检测用弹簧部的宽度设定为w₂时，将满足下述式（1），即，

0.87(f₂/f₁)≤(w₂/w₁)≤1.13(f₂/f₁)…（1），

但是，w₁≠w₂且f₁≠f₂。

10.如权利要求9所述的陀螺传感器的制造方法，其中，

所述干蚀刻法为博世法，在所述博世法中，交替地反复实施使用了氟化碳类气体的保护膜形成处理、和使用了氟化硫类气体的蚀刻处理。