[发明专利]一种超级结深沟槽结构

权利要求书

1.一种超级结深沟槽结构，其特征在于，所述超级结深沟槽包括原胞区和终端区；所述原胞区内的多个沟槽的形状均为条形，并且相邻沟槽的间距相等；所述终端区由两部分构成，一部分是终端区的四边，该终端区的四边内的沟槽形状为条形，另一部分是终端区的拐角处，该终端区的拐角处内的多个沟槽的形状为分离的四边形。

2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述终端区的拐角处由多个独立的四边形构成，每个四边形的四条边位置要与相邻的终端区内的条形沟槽的边水平或者垂直。

3.根据权利要求1或2所述的结构，其特征在于，所述终端区的拐角处的四边形沟槽的长和宽是相等的，或者是不等的；相邻四边形沟槽的间距是相同的，或者是不同的。