[发明专利]防尘薄膜组件收纳容器

说明书

技术领域

本发明涉及将在半导体部件，印刷基板或者液晶显示装置等的制造中使用的，防尘薄膜贴附于防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件收纳于防尘薄膜组件收纳容器。

背景技术

LSI以及超LSI等的半导体制造或为液晶显示装置等的制造中，要进行将半导体晶片或者液晶用原板用光进行照射来进行图案的制作的光刻。此时，光掩模或者中间掩模如果有灰尘附着，所述灰尘对光进行吸收，使光弯曲，由此就会使转印的图案变形，边缘不齐，并且基底变黑等的现象为发生。所述的作业通常在无尘室中进行，即使如此，也难以使光掩模总是保持清洁，所以，使用透明的防尘薄膜在防尘薄膜组件框架上贴附的防尘薄膜组件。如此，所述防尘薄膜组件在光掩模上载置而进行曝光，异物不在光掩模的表面直接附着，而是在防尘薄膜上附着，所以光刻时，只要将焦点对准光掩模的图案，防尘薄膜上的异物就与转印无关了。

所述的防尘薄膜组件如其本身有异物附着，就会有可能波及到光掩模，所以要求高的清净性。由此，在所述保管以及运送时，要使用防尘薄膜组件收纳容器。作为所述的防尘薄膜组件收纳容器或者防尘薄膜组件的收纳方法，可以例举下述专利文献1，2，3中所述之物。具体地说，专利文献1中，记载了一种防尘薄膜组件用容器，其为在硬质树脂制的容器本体的内底部，防尘薄膜组件框架的侧面被密接载置，其通过在容器本体的内底部竖直设立多个支持体，由此从周围将内底部上载置的防尘薄膜组件框架进行支持，进一步，在容器本体上覆盖有开闭自由的硬质树脂制的盖体，并在所述内面具有在所述盖体具有在闭盖时，与内底部上载置的防尘薄膜组件框架的所述一个侧面相接触的接触部。

专利文献2，记载了一种将大型防尘薄膜组件收纳在容器中的方法，其中防尘薄膜组件具有框体，在所述框体的上缘面接着的防尘薄膜，在所述框体的下缘面涂布有粘着材料，为了保护所述粘着材料而粘着在框体的下面的保护薄膜。所述收纳容器有盘以及盖，其中，所述大型防尘薄膜组件的保护薄膜的外周缘的一部或全部向外侧突起，而形成压边余量，并且所述压边余量通过粘着条，固定，由此将大型防尘薄膜组件收纳在其中。

专利文献3，记载了一种防尘薄膜组件收纳容器，包括:防尘薄膜组件载置容器本体；将防尘薄膜组件盖住的同时，与容器本体相互在周缘部嵌合卡定的盖体；在所述容器本体接合的金属部件；在防尘薄膜组件框架的相互平行的一组的边的各外侧面至少设置1个，共设置3个以上的孔，在这些孔中分别插入同数的框架保持针；对所述框架保持针的位置进行决定的位置决定部件，在该防尘薄膜组件收纳容器中，所述位置决定部件被机械固定在所述金属部件上。

【先行技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】实公平6－45965号公报

【专利文献2】特开2004－361647号公报

【专利文献3】专利第4391435号公报

专利文献1所述的防尘薄膜组件用容器，为射出成型，有部件少的优点，作为半导体用防尘薄膜组件的收纳而使用。但是，所述防尘薄膜组件用容器为，盖体以及容器本体都要高精度成形，不能用于边长为500mm超那样的液晶用防尘薄膜组件的收纳。因为这样的大型的容器难于在真空中进行精度良好地形成，加之容器本身的刚性也难以确保。

由此，在容器的处理时以及搬送时容易引起容器的变形，从而容器和防尘薄膜组件框架磨擦，发生粉尘，从而使品质变差。作为所述的边长超过500mm的那样的大型的防尘薄膜组件的收纳容器，如专利文献2所述的那样，使保护光掩模粘着层的衬层的一部向外侧突起，用粘着条将其固定于容器本体，或者如专利文献3所述的那样，在防尘薄膜组件框架外侧面设置的凹部中将针插入，在容器本体上固定，在现有文献中也提出了将防尘薄膜组件在容器本体上确实地固定的方法。

但是，专利文献2的那样，防尘薄膜组件的保护薄膜的外周缘的一部或为全部突起于外侧的压边余量用粘着条将其在容器本体上贴附固定的场合，所述作业不得不用人工进行，难于在清浄的状态中固定在盘上。进一步，在将粘着条剥离取出时，有人手接近于防尘薄膜组件框架附近，有异物附着的担心。

另一方面，如专利文献3的那样，向防尘薄膜组件框架外侧面的孔中进行针插入拔出使防尘薄膜组件向容器本体装卸的场合，防尘薄膜组件的装卸时，人手不太接近防尘薄膜组件，异物附着少。