[发明专利]静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置

权利要求书

1.一种静压气体轴承，其特征在于，包括：

合成树脂制的轴承体，该轴承体具有圆环状凹部、环状肩部面、环状凹槽及多个空气吹出孔，所述圆环状凹部形成于轴承体的一方的面上，所述环状肩部面与所述圆环状凹部的外周壁面连接且直径比该外周壁面的直径大，所述环状凹槽在轴承体的另一方的面上开口，所述多个空气吹出孔形成为自成节流孔，其在一端开口于环状凹槽，在另一端开口于圆环状凹部的环状底面；

环状密封构件，该环状密封构件被与环状肩部面接触地安装；以及

轴承基体，该轴承基体在与轴承体的一方的面相对的一方的面上具有供气通路，所述供气通路在一端开口于与所述轴承体的一方的面相对的轴承基体的一方的面上，在另一端开口于轴承基体的外周面上，

轴承体使圆环状凹部的开口部与轴承基体的供气通路连通，并被多个旋紧构件旋紧固定于所述轴承基体，从而与轴承基体一体化，环状凹槽具有至少0.3mm的宽度、至少0.01mm的深度，空气吹出孔在其一端具有至少30μm的直径，在圆环状凹部与环状凹槽之间形成有自成节流孔。

2.如权利要求1所述的静压气体轴承，其特征在于，

环状凹槽具有0.3～1.0mm或0.3～0.7mm的宽度、0.01～0.05mm或0.01～0.03mm的深度，空气吹出孔在其一端具有30～120μm的直径。

3.如权利要求1或2所述的静压气体轴承，其特征在于，

环状凹槽及空气吹出孔分别通过激光加工而形成。

4.如权利要求1至3中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

圆环状凹部的内周壁面形成为从开口部朝环状底面逐渐扩展的截头圆锥面。

5.如权利要求1至4中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

在轴承基体的另一方的面上形成有球体受压凹部。

6.如权利要求5所述的静压气体轴承，其特征在于，

球体受压凹部具有在轴承基体的另一方的面上开口的截头圆锥凹部。

7.如权利要求5所述的静压气体轴承，其特征在于，

球体受压凹部具有在轴承基体的另一方的面上开口的凹球面部。

8.如权利要求5所述的静压气体轴承，其特征在于，

球体受压凹部包括在轴承基体的另一方的面上具有开口部的圆柱状凹部，块体嵌合固定于该圆柱状凹部，该块体在一方的面上具有截头圆锥凹部，且使该截头圆锥凹部朝圆柱状凹部的开口部开口。

9.如权利要求5所述的静压气体轴承，其特征在于，

球体受压凹部包括在轴承基体的另一方的面上具有开口部的圆柱状凹部，块体嵌合固定于该圆柱状凹部，该块体在一方的面上具有凹球面部，且使该凹球面部朝圆柱状凹部的开口部开口。

10.如权利要求1至9中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

轴承体除了环状凹槽之外，还包括：

大径环状凹槽，该大径环状凹槽形成于轴承体的一方的面上，并在环状凹槽的外侧围住该环状凹槽；

多个第一放射状凹槽，这些第一放射状凹槽的一方的端部开口于所述环状凹槽，另一方的端部开口于大径环状凹槽；

小径环状凹槽，该小径环状凹槽形成于所述环状凹槽的内侧；以及

多个第二放射状凹槽，这些第二放射状凹槽的一方的端部开口于环状凹槽，另一方的端部开口于小径环状凹槽。

11.一种直动引导装置，其特征在于，

在具有作为引导面的上引导面及两侧引导面的引导构件的外侧配置有可动台，该可动台具有与上引导面相对的上板及与两侧引导面相对的一对侧板，各球销使球体朝向内侧地立设于该可动台的上板的下表面及一对侧板各自的内表面，在该球销与引导构件的上表面及两侧面之间，配置有权利要求1至10中任一项所述的静压气体轴承，该静压气体轴承使球体受压凹部与所述球销的球体滑动接触，并使轴承体与引导构件的上引导面及两侧引导面相对。