[发明专利]类金刚石涂层活塞环的制备方法

权利要求书

1.一种类金刚石涂层活塞环的制备方法，其步骤包括：

1)将活塞环表面进行丙酮超声波清洗，时间为10分钟，去除活塞环表面附着的油污和杂质；

2)将清洗后的活塞环进行低温烘干，烘干温度为55～60℃；

3)将烘干的活塞环装夹入磁过滤真空阴极弧炉，所述磁过滤真空阴极弧炉包括真空阴极弧装置，该真空阴极弧装置的入口设置L型磁过滤真空管道，将装有高纯石墨的阴极靶安装在L型磁过滤真空管道的入口处，L型磁过滤真空管道的外围安装偏向磁圈；

控制磁过滤真空阴极弧炉真空度6.0×10^-3Pa以下、温度控制在160～220℃；磁过滤真空阴极弧炉通入本底气体高纯氩气，流量控制在25～30sccm；磁过滤真空阴极弧炉通入电压电流，控制弧流35～55A，偏置电压100～160V，偏置电流0.55～0.85A，沉积压力6×10^-2～10×10^-2Pa，对活塞环外圆面镀膜；

4)完成镀膜后，将磁过滤真空阴极弧炉排气，降温；

5)将镀膜的活塞环取出，经抛光、清洗、烘干得产品。

2.根据权利要求1所述的类金刚石涂层活塞环的制备方法，其特征是：所述步骤1)中的活塞环表面预先设有CrN涂层、氮化层中的一种，再进行珩磨或抛光处理。