[发明专利]一种MEMS光学干涉平台及组装方法

权利要求书

1.一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述MEMS光学干涉平台包括硅片基座（4）、第二镜体（2）、第一镜体（1）、至少两组驱动臂（3）以及阻挡件（6），其中，所述硅片基座（4）上开设有对准槽（5），所述阻挡件（6）设置在所述对准槽（5）中；所述硅片基座（4）的一侧通过第一组驱动臂（31、32）连接第二镜体（2），相邻一侧通过第二组驱动臂（33、34）连接第一镜体（1）。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述第一镜体（1）为动镜或固定镜，所述第二镜体（2）为动镜。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述硅片基座（4）具有上层（41）和底层（42），所述对准槽（5）为设置在所述硅片基座（4）的上层（41）上的矩形凹槽，该对准槽（5）的两条相邻边设置在所述硅片基座（4）的上层（41）中并成90°直角，另两条相邻边则设置为与所述硅片基座（4）的底层（42）的两个相邻侧边分别处于相同平面内；所述硅片基座（4）的上层（41）、所述对准槽（5）与所述硅片基座（4）的底层（42）形成阶梯状结构。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述对准槽（5）通过半导体刻蚀加工而成。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述第一镜体（1）由第二组驱动臂（33、34）连接在硅片基座（4）的底层（42）上，所述第二镜体（2）由第一组驱动臂（31、32）连接在硅片基座（4）的底层（42）上；并且所述第二镜体（2）与所述第一镜体（1）所在的平面相互垂直。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述第一镜体（1）与第二镜体（2）为电热驱动的MEMS微镜。

7.根据权利要求1所述的一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述驱动臂（3）为由至少两层薄膜材料组成，且每层薄膜材料的热膨胀系数不同。

8.根据权利要求7所述的一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述驱动臂（3）为上下双层结构，一层为金属层，另一层为氧化物层。

9.根据权利要求1、7和8中任一项所述的一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述驱动臂（3）的偏转角度通过其厚度、长度与宽度以及温度控制，其最大偏转角度大于90°。

10.根据权利要求1所述的一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述阻挡件（6）为分光镜、或挡块与分光镜的组件。

11.根据权利要求6所述的一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述MEMS微镜包括镜体、边框及连接在镜体和边框之间的镜体驱动臂，所述镜体驱动臂为电热方式驱动的驱动臂，所述镜体驱动臂具有与所述驱动臂（3）同样的材料层结构。

12.一种根据权利要求1所述的MEMS光学干涉平台的组装方法，其特征在于，组装步骤为：

步骤A，在硅片基座（4）的上层（41）上通过半导体刻蚀加工成90°直角形状的对准槽（5），使得硅片基座（4）的上层（41）与硅片基座（4）的底层（42）在所述对准槽（5）处形成阶梯状结构；

步骤B，将阻挡件（6）放入所述对准槽（5）中，并通过所述对准槽（5）的90°直角边对其进行准确定位；

步骤C，对驱动臂通电，利用第一组驱动臂（31、32）的材料膨胀作用将第二镜体（2）慢慢抬起，通过第二组驱动臂（33、34）的材料膨胀作用将第一镜体（1）慢慢抬起；第一组驱动臂（31、32）与第二组驱动臂（33、34）偏转直到所述第一镜体（1）与所述第二镜体（2）分别对齐顶住所述阻挡件（6）的对应侧壁为止；

步骤D，所述第一镜体（1）与所述第二镜体（2）对齐定位后，驱动臂（3）保持不动，完成第二镜体、第一镜体及分光镜光学对准。