[发明专利]离子束引出电极和离子源

权利要求书

1.一种离子束引出电极，包括：

在电极框架的中心处具有开口的电极框架；以及

在一方向上间隔地设置的多个离子引出孔形成部件，各个离子引出孔形成部件的至少一端被在所述方向的垂直方向上可移动地支撑，

其中多个离子引出孔形成部件包括至少一个第一离子引出孔形成部件，

所述第一离子引出孔形成部件具有杆形的主体部以及从所述主体部延伸的第一过渡部，以及

所述第一过渡部与邻近所述第一离子引出孔形成部件的第二离子引出孔形成部件接触。

2.根据权利要求1所述的离子束引出电极，

其中所述第二离子引出孔形成部件在接触所述第一过渡部的位置处具有第二凹部。

3.根据权利要求2所述的离子束引出电极，

其中所述第一离子引出孔形成部件具有第一凹部，其接触第三离子引出孔形成部件的第三过渡部，所述第三离子引出孔形成部件邻近所述第一离子引出孔形成部件，

所述第一过渡部和所述第一凹部设置在所述第一离子引出孔形成部件的主体部中，

所述第一过渡部在所述方向上从所述主体部的一端延伸，以及

所述第一凹部在所述方向上位于所述主体部的另一端中。

4.根据权利要求1、2或3所述的离子束引出电极，

其中设置在开口中的各个离子引出孔形成部件都具有相同形状。

5.根据权利要求1、2或3所述的离子束引出电极，

其中设置在开口中的多个离子引出孔形成部件的数量是四个或更多，以及

除了位于所述方向上的开口的两端的离子引出孔形成部件之外，各个离子引出孔形成部件都具有相同形状。

6.根据权利要求2或3所述的离子束引出电极，

其中所述第一过渡部和所述第二凹部都设置在其中在开口中设置所述多个离子引出孔形成部件的方向上。

7.一种离子源，包括其中包括了阴极的等离子体容器，以及邻近所述等离子体容器设置的至少一片如权利要求1至3中任一项所述的离子束引出电极。

8.一种离子源，包括其中包括了阴极的等离子体容器，以及邻近所述等离子体容器设置的至少一片如权利要求4所述的离子束引出电极。

9.一种离子源，包括其中包括了阴极的等离子体容器，以及邻近所述等离子体容器设置的至少一片如权利要求5所述的离子束引出电极。

10.一种离子源，包括其中包括了阴极的等离子体容器，以及邻近所述等离子体容器设置的至少一片如权利要求6所述的离子束引出电极。