[发明专利]一种倒装芯片封装方法有效
申请号: | 201210428121.7 | 申请日: | 2012-10-31 |
公开(公告)号: | CN102931108A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 谭小春 | 申请(专利权)人: | 矽力杰半导体技术(杭州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/603 |
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地址: | 310012 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 倒装 芯片 封装 方法 | ||
1.一种倒装芯片封装方法,其特征在于,包括:
在一芯片上设置一组焊垫;
将一组第一连接结构和一组第二连接结构依次间隔排列设置于所述焊垫之上;
所述第一连接结构包括第一类金属;
所述第二连接结构包括第二类金属;所述第一类金属的硬度小于所述第二类金属的硬度;
将所述芯片倒置于一基板上,所述芯片通过所述第一连接结构和所述第二连接结构与所述基板连接。
2.根据权利要求1所述的倒装芯片封装方法,其特征在于,所述第一连接结构为金属金或者金属银。
3.根据权利要求1所述的倒装芯片封装方法,其特征在于,所述第二连接结构为金属铜或者金属镍。
4.根据权利要求1所述的倒装芯片封装方法,其特征在于,
采用引线键合工艺生成所述第一连接结构或者所述第二连接结构,包括以下步骤:
进行引线键合工艺的第一次键合;
切断金属丝,从而形成所述第一连接结构或者所述第二连接结构。
5.根据权利要求1所述的倒装芯片封装方法,其特征在于,通过电镀工艺形成所述第一连接结构或者所述第二连接结构。
6.一种倒装芯片封装方法,其特征在于,包括:
在一基板上设置一组焊垫;
将一组第一连接结构和一组第二连接结构依次间隔排列设置于所述焊垫之上;
所述第一连接结构包括第一类金属;
所述第二连接结构包括第二类金属;所述第一类金属的硬度小于所述第二类金属的硬度;
将一表面具有一组焊垫的芯片倒置,以使所述芯片表面上的焊垫与所述第一连接结构和第二连接结构连接,从而所述芯片通过所述第一连接结构和所述第二连接结构与所述基板连接。
7.根据权利要求6所述的倒装芯片封装方法,其特征在于,所述第一连接结构为金属金或者金属银。
8.根据权利要求6所述的倒装芯片封装方法,其特征在于,所述第二连接结构为金属铜或者金属镍。
9.根据权利要求6所述的倒装芯片封装方法,其特征在于,
采用引线键合工艺生成所述第一连接结构或者所述第二连接结构,包括以下步骤:
进行引线键合工艺的第一次键合;
切断金属丝,从而形成所述第一连接结构或者所述第二连接结构。
10.根据权利要求6所述的倒装芯片封装方法,其特征在于,通过电镀工艺形成所述第一连接结构或者所述第二连接结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造