[发明专利]一种基于微机电系统的微透镜

权利要求书

1.一种基于微机电系统的微透镜，在MEMS微平台的最底端为基座（3），基座（3）上安装有驱动装置，驱动装置支撑住镜架（2），镜架（2）上安装有微透镜（1），通过驱动装置带动镜架（2）移动，进而带动微透镜（1）的移动，实现透镜焦点的变化，其特征在于：所述驱动装置由两个驱动臂（4,5）组成，每个驱动臂由一个或一个以上的连接梁和将基座（3）、连接梁、镜架（2）依次连接起来的双压电晶片组成，其中双压电晶片由两种或者两种以上的金属层组成，每个双压电晶片加电压产生热温度升高，由于两种材料的热膨胀系数不同，从而导致双压电晶片产生弯曲，将连接梁抬高。

2.根据权利要求1所述的微透镜，其特征在于：每个驱动臂由两个对称的驱动分支连接而成，每个驱动分支包括两个连接梁和三个双压电晶片，第一双压电晶片（501）连接基底（3）和第一连接梁（511），第二双压电晶片（502）连接第一连接梁（511）和第二连接梁（512），第三双压电晶片（503）连接第二连接梁（512）和镜架（2）。

3.根据权利要求1或2所述的微透镜，其特征在于：在镜架（2）上设置有一个或一个以上的热敏电阻（6）。

4.根据权利要求1或2所述的微透镜，其特征在于：所述微透镜（1）与MEMS微平台的连接方式为，镜架（2）上预留一个直径小于微透镜（1）直径的安装孔（201），在安装孔（201）周围加工出与微透镜（1）直径大小一致的凹槽（202），可以恰好将微透镜（1）放在凹槽（202）中，利用粘结物质将微透镜（1）固定在凹槽（202）中。

5.根据权利要求1或2所述的微透镜，其特征在于：所述微透镜（1）与MEMS微平台的连接方式为，在微透镜（1）边缘加工出几个凸起（101），同时在镜架（2）上对应位置加工几个凹孔（203），之后将微透镜（1）和镜架（2）组装在一起，凸起（101）与凹孔（203）一一对应。

6.根据权利要求5所述的微透镜，其特征在于：所述微透镜（1）与MEMS微平台的连接方式为，微透镜（1）边缘部分大于整体尺寸，将微透镜（1）穿过镜架（2）上的凹孔（201），微透镜（1）边缘部分可以卡住透镜。

7.根据权利要求1或2所述的微透镜，其特征在于：所述镜架（2）上加工有微结构（204）。

8.根据权利要求1或2所述的微透镜，其特征在于：所述MEMS微平台通过双压电晶片（7）与电连接基座（8）连接在一起，给电连接基座（8）加电可以驱动MEMS微平台上的镜架（2）运动，同时也可以通过给双压电晶片（7）加电压以带动微平台偏转。

9.根据权利要求1或2所述的微透镜，其特征在于：所述MEMS微平台直接封装在电连接基座（8）上。

10.根据权利要求1或2所述的微透镜，其特征在于：所述微透镜（1）为圆柱状、方形状、球面状或非球面状。