[发明专利]铬靶材的制作方法

权利要求书

1.一种铬靶材的制作方法，其特征在于，包括：

提供铬粉末；

将铬粉末放置入真空包套并抽真空；

采用热等静压工艺对真空包套内的铬粉末进行烧结成型，形成铬靶材；

完成烧结成型后，进行冷却并拆除真空包套取出铬靶材。

2.根据权利要求1所述的铬靶材的制作方法，其特征在于，将铬粉末放置入真空包套后，进行热等静压工艺之前，还进行封死所述真空包套并从所述真空包套上引出脱气管的步骤，所述抽真空步骤是通过所述脱气管完成的。

3.根据权利要求1所述的铬靶材的制作方法，其特征在于，抽真空后，所述真空包套内的真空度小于等于2×10^-3Pa。

4.根据权利要求3所述的铬靶材的制作方法，其特征在于，所述真空包套内的真空度小于等于2×10^-3Pa后，还对所述真空包套进行边加热边抽真空的步骤。

5.根据权利要求4所述的铬靶材的制作方法，其特征在于，所述边加热边抽真空的步骤包括：加热所述真空包套至温度大于等于250℃小于且等于500℃后，进行保温，所述加热及保温过程中，持续抽真空使真空包套内的真空度小于等于2×10^-3Pa，之后进行所述烧结成型步骤。

6.根据权利要求5所述的铬靶材的制作方法，其特征在于，所述保温的时间为3小时～4小时。

7.根据权利要求1所述的铬靶材的制作方法，其特征在于，所述热等静压工艺具体参数为：设置热等静压炉的热等静压温度为大于等于1200℃且小于等于1300℃，设置热等静压炉的热等静压压力为大于等于130MPa且小于等于150MPa，并在此压力下保压4小时～6小时。

8.根据权利要求1所述的铬靶材的制作方法，其特征在于，所述真空包套采用厚度为1.0mm～2.0mm的不锈钢焊接成型。

9.根据权利要求8所述的铬靶材的制作方法，其特征在于，所述不锈钢为低碳钢、304不锈钢材或316L不锈钢材。

10.根据权利要求1所述的铬靶材的制作方法，其特征在于，所述铬粉末的纯度为大于等于99.5％且小于等于99.99％。