[发明专利]测量装置

权利要求书

1.一种测量参考表面与测试表面之间的距离的测量装置，包括：

n个频率扫描光源，其中n是不小于2的整数；

分光元件，其被配置为将来自所述n个频率扫描光源中的每个的光束进行分离以入射到所述参考表面和所述测试表面；

检测器，其被配置为一次检测由被所述参考表面反射的光束和被所述测试表面反射的光束的干涉形成的n个干涉光束，并输出干涉信号；和

处理单元，其被配置为执行获得所述距离的处理，

其中，所述处理单元执行控制以便以第一扫描速度、在第一方向上扫描来自所述n个频率扫描光源中的第一光源的光的频率，并执行控制以便以不同于第一扫描速度的第二扫描速度、在与第一方向相反的第二方向上扫描来自所述n个频率扫描光源中的不同于第一光源的第二光源的光的频率，并且

所述处理单元通过下述方式来获得所述距离：在控制所述n个频率扫描光源的同时，将从所述检测器输出的、包括所述n个干涉光束的检测结果的所述干涉信号划分为与所述n个干涉信号对应的n个信号，并对所述n个信号进行处理。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，

n是不小于3的整数，并且

所述处理单元执行控制以便以不同于第一扫描速度和第二扫描速度的第三扫描速度、在第一方向和第二方向之一上扫描来自不同于第一光源和第二光源的第三光源的光的频率。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，

所述处理单元对从所述检测器输出的干涉信号执行频率分析，以将所述干涉信号划分为与所述n个干涉光束对应的所述n个信号，并且

所述处理单元获得通过求取从与通过所述频率分析获得的所述n个信号对应的n个峰值频率计算的、参考表面与测试表面之间的距离的平均值而获得的距离作为所述距离。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，设fc_i是来自所述n个频率扫描光源中的每个的光的中心频率，fv_i是来自所述n个频率扫描光源中的每个的光的频率的扫描速度，其中，i是1至n的整数；以及

所述处理单元控制所述n个频率扫描光源以满足

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5.根据权利要求1至4中的任何一个所述的装置，其中，

所述检测器包括多个检测区，在该多个检测区，对于所述测试表面上的多个位置检测包含n个干涉光束的光束，并且

所述处理单元通过基于从各个检测区输出的干涉信号获得所述多个位置处的距离来获得所述测试表面的形状。