[发明专利]一种微型无膜燃料电池电极的制备方法无效
| 申请号： | 201210431281.7 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN102916200A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 王升高;许结林;朱金龙;柳毅;王传新;汪建华 | 申请（专利权）人： | 武汉工程大学 |
| 主分类号： | H01M4/88 | 分类号： | H01M4/88 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 徐立 |
| 地址： | 430073 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微型 燃料电池 电极 制备 方法 | ||
1.一种微型无膜燃料电池电极的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
A、在基板材料上制备金属膜；
B、在所述金属膜表面涂覆一层光刻胶；
C、对所述光刻胶进行光刻和显影处理，使所述金属膜上残余的光刻胶呈现所需的电极图形，再将其放入刻蚀液中进行刻蚀，得到所需的电极形状；
D、碳化刻蚀后的所述光刻胶，将所述刻蚀后的光刻胶放入高温炉中进行热处理；
E、在所述光刻胶碳化后所获得的碳电极上，负载金属催化剂。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基板材料为硅片或玻璃。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述金属膜为铬金属膜，所述刻蚀液为铬刻蚀液。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，采用溅射法、磁控溅射法或热蒸发镀法制备所述金属膜。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，利用所述磁控溅射法制备所述金属膜的工艺参数为：腔体压力为0.5-0.6Pa，溅射功率为80-100W，氩气流速为10-12cm2/min，溅射时间为2-3min。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，采用匀胶法在所述金属膜表面涂覆一层所述光刻胶，所述匀胶法的工艺参数为：转速为700-800rpm，时间为6-9s，再经转速为3500rpm，时间为20-30s。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，采取电镀的方法在所述光刻胶碳化后获得的碳电极上负载所述金属催化剂。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述热处理的工艺参数为：以1-2℃/min的速度升温，在150℃的温度条件下，保温0.5h，然后以5℃/min的速度升温至350-380℃，保温0.5h后，随炉冷却。
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