[发明专利]一种监控设备运行状态的系统及方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种监控设备运行状态的系统及方法。

背景技术

目前，在晶圆厂的全自动化生产线上的生产设备经常是全天候（24小时）运转，即设备自行进行生产、控制，及自动在上下工序间传送；现有技术中，主要是通过电脑终端对该自动化生产线及设备进行监控，主要是将各设备的上分别与制造执行系统（Manufacturing Execution System，简称MES）进行通讯连接，以更新MES中各设备运行状态信息；然而，当设备发生死机等情况时，设备会中断与MES之间的连接，而现有的MES系统又不会及时发现该通讯中断并进行报警，进而导致产品工艺的异常，浪费设备机时，且使用人力进行巡查处理时，又会浪费大量的人力成本，致使整个生产工艺成本的增加。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明揭示了一种监控设备运行状态的系统及方法，主要是根据预设的作业时间与运行中实际作业时间的比对，对疑似异常死机的设备及时进行自动报警的工艺。  

本发明的目的是通过下述技术方案实现的：

一种监控设备运行状态的系统，应用于自动化生产线上，包括用于对芯片进行工艺处理的生产设备，其中，还包括： 

监测模块，与所述生产设备进行通讯连接，以用于从所述生产设备上提取设备信息；

判断模块，分别与所述自动化生产线和所述检测模块进行通讯连接，根据提取的所述设备信息判断所述生产设备的运行状态，并根据该运行状态决定是否触发警报。

上述的监控设备运行状态的系统，其中，还包括与所述判断模块连接的报警装置，接收所述警报并发出声光警报。

上述的监控设备运行状态的系统，其中，还包括与所述判断模块连接的显示装置，用于显示触发警报的生产设备的信息。

上述的监控设备运行状态的系统，其中，所述判断模块中根据所述生产设备中进行的工艺预设有常规作业时间值。

上述的监控设备运行状态的系统，其中，所述设备信息包括所述生产设备中是否有任一批次作业中，若有，则还包括该生产设备中最后开始作业批次的开始时间。

上述的监控设备运行状态的系统，其中，所述生产设备中无任一批次作业中时，所述判断模块判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警报；反之，则根据生产设备中最后开始作业批次的开始时间计算其进行工艺的时间值，若该时间值大于系统设定的常规作业时间值，则所述判断模块判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警报。

一种监控设备运行状态的方法，包括上述任意一项所述的系统，其中，

抽取所述生产设备的设备信息；

当所述生成设备处于产品生产状态时，判断该生产设备中是否有任一批次作业中；

若该生产设备中无任一批次作业中，则判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警报；

若该生产设备中有任一批次作业中，则根据生产设备中最后开始作业批次的开始时间计算其进行工艺的时间值；

若进行工艺的时间值大于系统设定的常规作业时间值，则判断所述生产设备疑似死机状态，同时触发警报；反之，则判断所述生产设备运行状态正常，并继续下一工艺。

上述的监控设备运行状态的方法，其中，还包括上述触发警报的同时，通过显示模块将生产设备信息显示。

上述的监控设备运行状态的方法，其中，还包括进行上述判断工艺步骤的判断模块，并采用监测模块抽取所述生产设备的设备信息。

上述的监控设备运行状态的系统，其中，还包括与所述判断模块连接的报警装置，以接收所述警报并发出声光警报。

综上所述，本发明一种监控设备运行状态的系统及方法，通过根据预设的作业时间与运行中实际作业时间的比对，对疑似异常死机的设备及时进行自动报警，同时将该疑似死机的设备信息显示出来，以便于工程师方便、及时、准确的对异常的生产设备进行检查分析，从而在提高工程师巡检效率的同时，有效的避免了生产设备机时的浪费，进而降低了整个生产工艺的成本。

附图说明

图1是本发明实施例一中监控设备运行状态的系统的结构示意图；

图2是本发明实施例二中监控设备运行状态的方法的流程示意图。

具体实施方式  

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：

实施例一：