[发明专利]提供化学物品的控制系统

说明书

技术领域

本发明设计半导体制造领域，尤其涉及一种提供化学物品的控制系统。

背景技术

在半导体集成电路制造工艺中，通常需要用到大量的具有剧毒性和高腐蚀性的化学物品来满足生产需要，例如氢氟酸、磷酸等。在正常的生产过程中，制程设备机台向厂务的化学物品供应系统发出需求信号，厂务的化学物品供应系统接受到需求信号后会做出相应的反应并且发出反应信号，从而控制阀门打开，向制程设备机台输送所需的化学物品。

目前，半导体行业通常都是采用控制网线来传递需求信号，实现制程设备机台和厂务的化学物品供应系统之间的通讯。请参考图1，现有的提供化学物品的控制系统包括：制程设备机台（POU）10；与所述制程设备机台10连接的阀门箱（VMB）20；与所述阀门箱20连接的输入输出控制盘（I/O Panel）30；与所述输入输出控制盘30连接的中央数据采集盘（DCP Master）40；以及与所述中央数据采集盘40连接的化学物品供应系统（CCSS Unit）50，所述化学物品供应系统50包括化学物品供应单元（图未示）和信号输入单元（图未示）。此外，所述制程设备机台10与阀门箱20之间设置有第一段管路61，所述阀门箱20与化学物品供应系统50之间设置有第二段管路62。

所述制程设备机台10、阀门箱20、输入输出控制盘30、中央数据采集盘40以及化学物品供应系统50依次通过信号线进行信号连接。具体地说，所述制程设备机台10提出需求信号并传输至所述阀门箱20；所述阀门箱20再将需求信号传输至所述输入输出控制盘30；所述输入输出控制盘30将需求信号传输至所述中央数据采集盘40；所述中央数据采集盘40将需求信号传输至所述化学物品供应系统50中的信号输入单元；所述化学物品供应系统再根据所述需求信号做出相应的反应，控制所述化学物品供应单元通过第二段管路62向制程设备机台10供应化学物品（例如是氢氟酸、磷酸等酸液）；所述输入输出控制盘30会根据需求信号做出相应的反应，再将反应信号反馈至所述阀门箱20；所述阀门箱20根据所述反应信号来打开或者关闭所述阀门单元中的阀门，从而达到为所述制程设备机台10提供或不提供所需化学物品的效果。这样便能够实现所述制程设备机台10与所述化学物品供应系统50的化学物品的传输。

但是在实际生产过程中，输入输出控制盘30与中央数据采集盘40之间的信号线、中央数据采集盘40与化学物品供应系统50之间的信号线、或者中央数据采集盘40其中任何一处出现问题都将会导致信号传输的中断，化学物品供应系统50无法接受到需求信号，从而致使制程设备机台10无法获得所需的化学物品。若制程设备机台10无法获得化学物品，必须停止生产。此时不但需要花费时间分别对各处信号线和中央数据采集盘40进行故障排查，而且还将导致制程设备机台10中正在生产的晶圆损伤甚至报废。因此，如何避免此类问题的发生，便成了本领域亟需解决的技术问题。

发明内容

本发明提出一种提供化学物品的控制系统，其目的在于解决现有技术中从输入输出控制盘到化学物品供应系统中的信号线和中央数据采集盘出现故障时不能继续为制程设备机台提供化学物品的问题。

为了实现上述目的，本发明提出一种提供化学物品的控制系统，包括：制程设备机台（POU）；与所述制程设备机台连接的阀门箱（VMB）；与所述阀门箱连接的输入输出控制盘（I/O Panel）；以及化学物品供应系统（CCSS Unit）；所述制程设备机台与阀门箱之间设置有第一段管路，所述阀门箱与化学物品供应系统之间设置有第二段管路；其中，所述输入输出控制盘直接通过信号线与所述化学物品供应系统进行信号连接。

进一步的，所述阀门箱包括信号单元和阀门单元；所述信号单元与所述制程设备机台与所述输入输出控制盘连接，所述阀门单元与所述制程设备机台通过所述第一段管路连接，所述信号单元控制所述阀门单元中的阀门的开关。

进一步的，所述化学物品供应系统包括化学物品供应单元和信号输入单元，所述化学物品供应单元与所述阀门箱通过所述第二段管路连接，所述信号输入单元与所述输入输出控制盘通过信号线连接，所述信号输入单元控制所述化学物品供应单元供应化学物品。

进一步的，还包括一中央数据采集盘，与所述输入输出控制盘和所述信号输入单元连接。

进一步的，所述输入输出控制盘包括数据输出模块和继电器，所述数据输出模块与所述继电器连接。

进一步的，所述继电器与所述信号输入单元的信号端口通过一根信号线连接，所述继电器与所述信号输入单元的公共端口通过另一根信号线连接。