[发明专利]一种用于泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体全过程中的冷却方法无效
| 申请号： | 201210435000.5 | 申请日： | 2012-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN103290472A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 范世炜;许友生;丁革建;曾锡强 | 申请（专利权）人： | 浙江东海蓝玉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 314300 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 泡生法 生长 尺寸 蓝宝石 晶体 全过程 中的 冷却 方法 | ||
1. 一种用于泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体全过程的冷却方法，泡生法包括准备原料、炉体抽真空、炉体加热、熔接晶体、晶颈生长、晶体生长、分离、退火、取晶，其特征在于，所述冷却方法应用于晶颈生长与退火，应用于晶颈生长的冷却方法为，晶种直径缩小至4-8mm时，以0.5-5℃/h的速度降温；当晶种上结晶的质量达到0.1-0.2kg时，以1-10℃/h的速率降温；当晶种上结晶的质量达到0.4-0.8kg时，以2-15℃/h的速率降温；当晶种上结晶的质量达到1.5-1.9kg时，以1-10℃/h的速率降温；应用于退火的冷却方法为，退火开始时，以180-220℃/h的速率降温，降温至1400℃；然后以30-40℃的速率降温，降温至1000℃；然后以80-120℃/h的速率降温，同时减小加热电压，直至加热电压为零；然后通入惰性气体，降温至40℃。
2.根据权利要求1所述的一种用于泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体全过程的冷却方法，其特征在于，在晶颈生长时，晶种直径缩小至4-8mm，冷却的同时以0.05-1mm/h的速度向上提拉晶种杆并伴有0.1-2rpm的速度旋转；当晶种上结晶的质量达到0.1-0.2kg，冷却的同时以0.5-2mm/h的速度向上提拉晶种杆；当晶种上结晶的质量达到0.4-0.8kg，冷却的同时以0.15-3mm/h的速度向上提拉晶种杆；当晶种上结晶的质量达到1.5-1.9kg，冷却的同时以0.25-4mm/h的速度向上提拉晶种杆。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体全过程的冷却方法，其特征在于，通入惰性气体直到炉内气压为8×104-1×105pa，40℃下保温5-8h。
4.根据权利要求1所述的一种用于泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体全过程的冷却方法，其特征在于，惰性气体为氩气。
5.根据权利要求1或2或4所述的一种用于泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体全过程的冷却方法，其特征在于，在冷却过程中所用的冷却水为软水。
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