[发明专利]一种快速响应的平板宽量程氧传感器

权利要求书

1.一种快速响应的平板宽量程氧传感器，包括电加热丝（11），其特征在于：在氧化锆材质的泵氧基体（3）上表面丝网印刷有泵氧外电极（2），在泵氧基体（3）和氧化锆材质的感应基体（7）之间依次夹持有泵氧内电极（4）、扩散阻挡层（5）和感应外电极（6）；

在通道板（9）上成型有参比通道（91），感应内电极（8）丝网印刷在感应基体（7）的下表面；

通道板（9）的下部依次是第一绝缘层（10）、电加热丝（11）和第二绝缘层（12），氧化锆材质的加热基体（13）位于第二绝缘层（12）的下部，电加热丝（11）的加热引出电极（14）丝网印刷在加热基体（13）的下表面且与电加热丝（11）电连接；

泵氧基体（3）、感应基体（7）、通道板（9）和加热基体（13）烧结固定在一起，泵氧外电极（2）的泵氧外电极引出电极（21）丝网印刷在泵氧基体（3）的表面。

2.根据权利要求1所述的一种快速响应的平板宽量程氧传感器，其特征在于：多孔保护层（1）覆盖在泵氧外电极（2）前端表面上。