[发明专利]基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器

权利要求书

1.一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，其特征是：包括光源系统、全反射系统、光强测量系统、金属薄膜系统、气体分子吸附系统。

2.根据权利要求1所述的一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，其特征是：当气体分子吸附系统吸附了气体分子后，其介电常数改变所引起表面等离子体共振条件发生改变，来对气体分子进行检测。

3.根据权利要求1所述的一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，其特征是：所述气体分子吸附系统与金属薄膜系统相接，形成可传输表面等离子波的界面。

4.根据权利要求1所述的一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，其特征是：所述金属薄膜系统与全反射系统相接，形成可全反射的界面。

5.根据权利要求1所述的一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，其特征是：所述全反射所形成迅逝波将越过可全反射的界面进入金属薄膜系统。

6.根据权利要求1所述的一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，其特征是：所述光源系统是产生全反射的入射光，由光源（6）和准直器件（7）组成；所述全反射系统是产生全反射的物质，由棱镜（3）构成；所述光强测量系统是测量从全反射系统输出的反射光，由电荷耦合装置（8）构成；所述金属薄膜系统为金膜（2），用于产生表面等离子体共振的物质；所述气体分子吸附系统为石墨烯薄膜（1），用于吸附待测环境中的气体分子的物质。